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CIMPortal Plus 製品仕様書
Cimetrix社のCIMPortal™ Plusソフトウェア・ツールキットは、装置メーカー向けに包括的な装置データ収集（EDA）ソリューションを提供します。さらに、CIMPortal Plusソフトウェアは、既存の装置を改造する統合デバイスメーカー（IDM）でも利用可能です。
CIMPortal Plusは、EDA共通メタデータに関する最新のSEMI E164仕様に対応しています。E164規格は、Interface A接続を使用する企業が、SEMI E125（装置自己記述仕様）に基づいた、より共通性の高い装置メタデータ表現を提供することを促進するために策定されました。 開発者は、メタデータ適合性アナライザ（MCA）を使用して、生成した装置モデルを検証することができます。ファブ（半導体製造工場）では、収集したインターフェースAデータを活用し、故障検出・分類（FDC）、ラン・トゥ・ラン制御、装置の健全性監視、チャンバー／ツールマッチング、予知保全、仮想計測、電子診断、その他多くの装置関連の分析アプリケーションに利用することができます。
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