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標準
SEMI E148 – 時刻同期とTS-Clockオブジェクト
その他の機器・ソフトウェア関連
標準
SEMI E5 – SEMI装置通信規格2メッセージ内容(SECS-II)仕様
SECS/GEM
標準
SEMI E37 – 高速SECSメッセージサービス(HSMS)汎用サービス仕様
SECS/GEM
標準
SEMI E30 – 製造装置の通信および制御のための汎用モデル(GEM)の仕様
SECS/GEM
標準
SEMI E192 – GEMおよびGEM関連規格の機器採用基準に関するガイド
GEM300
,
SECS/GEM
標準
SEMI E191 – コンピューティングデバイスのサイバーセキュリティ状態報告に関する仕様
サイバーセキュリティ
標準
SEMI E187 – ファブ設備のサイバーセキュリティに関する仕様
サイバーセキュリティ
標準
SEMI E172 – SECS装置データ辞書(SEDD)仕様書
SECS/GEM
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