包括的なSECS/GEMテストにより、装置のGEM準拠を確保し、工場統合を最適化します
EquipmentTestとは何ですか?
Cimetrix EquipmentTest™は、SEMI規格への装置インターフェース準拠を検証し、工場ホストシステムとの統合を効率化するために設計された包括的なSECS/GEMテストソリューションです。Microsoft Test Runnerフレームワークを基盤とするEquipmentTestは、基本および高度なGEMインターフェース検証の両方に対して、信頼性が高く拡張性のあるテスト機能を提供します。
Pro版では、C#を使用したカスタムテストシナリオの作成とデプロイが可能となり、複雑な検証や自動化ワークフローに対する柔軟性が向上します。Pro版は、SECS-IIメッセージの詳細を知らなくてもユーザーインターフェースからGEMシナリオを実行することで、GEM装置特性評価機能を提供します。
EquipmentTestデータシートをダウンロード
機器テストの主な特徴
包括的基準テスト
- GEM適合性試験:自動化されたレポート機能を備えた完全なSEMI E30適合性試験を実施します。
- サイレントGEMコンプライアンス:オペレーターの操作を必要としないコンプライアンステストを実行し、自動化されたワークフローをサポートします。
- 基本検証テスト:GEMインターフェースの接続性と動作状態を迅速に確認する。
- 自動マッピング:GEM実装機能に基づいて画面とテストを自動的に構成します。
