要旨：SiC技術は、主に電気自動車の普及に向けた積極的なロードマップと産業用高電圧・高電力アプリケーションに牽引され、最も急速に拡大しているIC製造技術であると言える。本論文では、困難かつ長期にわたるSiC基板成長から複雑なMOSFET組立プロセスに至るまでの課題に焦点を当て、SiC技術の最新動向を包括的に概説する。 確立されたSi製造プロセスとの差異に焦点を当て、包括的な参考文献リストを提供するとともに、本技術における主要製造プロセスに関する我々の研究を簡潔に説明する。さらにSiC技術および製品ロードマップを提示する。
キーワード：SiC MOSFET；SiC技術；自動車産業；バッテリー式電気自動車
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