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はじめに
これまでの投稿では、GEMインターフェースを通じてデータを収集する機能について説明してきました。これにより、直近の投稿で述べた工場アプリケーションがこのデータを分析できるようになります。今回の投稿では、SEMI E30 GEM（汎用装置モデル）規格の具体的な機能と能力、特に装置のエラー状態の管理について再び議論します。
理想の世界では、すべてが計画通りに進むが、現実では常に問題が発生する。成功の秘訣は、問題が起きた時を察知し、適切に対応できることにある。
警報
家庭用警報システムと同様に、半導体製造工場では異常発生を即座に把握したいと考えています。処理中の材料が廃棄されるのを防ぎたいのです。アラーム管理により、装置は異常発生時にホストへ通知し、何が問題だったかの情報を提供します。GEM規格では、アラーム管理を「装置上で発生したアラーム状態についてホストへの通知と管理を行う機能」と定義しています。
GEMにおいて、アラームとは、人、設備、または処理中の材料を危険にさらす可能性のある機器上の異常事態を指す。例えば、技術者が部品交換のためにアクセスパネルを開けた場合、機器は現在の状態で運転することが安全でないことをホストに通知するアラームを発するべきである。 別の例として、処理に高温を必要とする設備において、センサーが低温状態を検知した場合、その条件下でのプロセス実行が処理中の材料を損傷する可能性があるため、警報を発動すべきである。また、警報状態が発生した際に設備上で安全でない動作を禁止することも、設備メーカーの責任である。人員・設備・材料の安全を確保するために設備にどのような警報が必要かは、設備メーカーが最もよく理解している。
アラーム条件が発生した時点での機器の状態に関する追加情報を得ることは、しばしば有用です。この追加情報をホストに伝達することは価値がありますが、通常のアラーム報告送信/応答メッセージでは実現できません。 この追加情報を取得する手段を提供するため、GEMでは機器のあらゆるアラーム条件に対して2つの収集イベントを定義することを要求します。1つはアラームが設定された時、もう1つはアラームが解除された時です。これらの収集イベントにより、アラームの状態が変化した際に、GEMイベントデータ収集メカニズムを使用して関連する追加情報をホストに送信することが可能になります。
機器のアラーム管理は、アラーム状態変化の時刻を提供するだけでなく、ホストが全アラームIDと関連アラームテキストのリストを要求できるようにしなければならない。ホストはまた、機器上の個々のアラームを有効化/無効化でき、現在レポート用に有効化されているアラームのリストを機器に問い合わせる必要がある。
アラームの状態図はそれほど興味深いものではありませんが、重要な役割を果たします。以下の図はアラームの状態図を示しています：
GEMアラームには2つの状態しかありません：各アラームは「設定済み」か「解除済み」のいずれかです。シンプルですが効果的です。
アラーム管理はロケット科学ではないが、効果的に活用することで、ファブはプロセス装置の状態を注意深く監視し、生産歩留まりへの悪影響を最小限に抑えられる。