SEMI E94規格の概要 SEMI E94規格の概要
SEMI E94規格「制御ジョブ管理（CJM）仕様」 制御ジョブ管理（CJM）の仕様は、製造装置におけるレシピ実行を最適化するため、複数のSEMI E40「プロセスジョブ」をキューイング、管理、実行する制御ジョブの概念を定義する。制御ジョブはまた、加工後の材料の移動先を決定する。E94は、当初300mm半導体フロントエンド工場の自動化ツール向けに設計されたGEM300規格の一つであるが、他の産業の装置にも実装可能である。
SEMI E94規格の目的 SEMI E94規格の目的
SEMI E94規格の主な目的は、SEMI E40プロセスジョブを管理する制御ジョブを定義し、工場制御システムが装置のレシピ実行を監視制御できるようにすることである。SEMI E94はSEMI E40と組み合わせて実装された場合にのみ有用である。
SEMI E94の主要概念と特徴 SEMI E94の主要概念と特徴
SEMI E94で定義された具体的な特徴は以下の通りです。
- プロセスジョブ管理: プロセスジョブの実行順序を指定します。プロセスジョブは統合され、順次または並列で実行できます。一連のプロセスジョブを開始、一時停止、中止、キャンセル、または停止することを許可します。
- 処理済み材料の行き先: 制御ジョブの属性により、処理済み基板の移動先（ソースキャリア、宛先キャリア、または仕分けアルゴリズムに基づく移動先など）が決定されます。
- SECS/GEMとの統合: SEMI E94.1は、SEMI E94の機能を工場ホストとの通信用SECS/GEMインターフェースにマッピングする下位規格である。
SEMI E94規格の業界における重要性
SEMI E94規格は、半導体製造における運用効率、柔軟性、拡張性を推進するために不可欠です。高度な自動化と動的な生産管理を支える標準化された枠組みを提供します。主な利点は以下の通りです：
- 業務効率: E94は、ジョブキューの標準化、リモートジョブ制御、資材ルーティングにより工場自動化を実現し、生産を効率化するとともに手動介入を削減します。
- 強化された柔軟性: この規格により、ファブはリアルタイムの生産ニーズに基づいて注文優先度を動的に調整し、ワークフローを管理できます。多様なユースケースにおいて、材料移動に関する指示を装置に一貫した方法で提供します。
- 業界での広範な採用: E94は300mmフロントエンド製造施設で普遍的に導入されており、バックエンド半導体工程での採用も拡大している。
これらの機能により、SEMI E94は高スループットで適応性の高い製造環境を実現する重要な基盤技術となり、急速に進化する業界においてファブが競争力を維持することを支援します。
SEMI E94をサポートするPDFソリューション製品 PDFソリューションズ SEMI E94をサポートする製品
PDF Solutionsは、SEMI E5規格の導入を支援する包括的なソリューションを提供します。これには、装置とホスト間の通信のための開発および統合ツールが含まれます。
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機器側
- Cimetrix CIM300: 300mmファブ向けのGEM300規格準拠をサポートし、GEM、E87、E90、その他の規格を統合。
- Cimetrix CIMControlFramework: SEMI規格とシームレスに統合されるように設計された、装置自動化システム向けの完全なソフトウェアフレームワーク。
- Cimetrix EquipmentConnect: SEMI GEM、GEM300、およびEDA/Interface A規格のシームレスな実装のために設計された強力なソフトウェアツールキット
工場側
- サピエンス・データプラットフォーム: SEMI規格をサポートするホスト側ソリューションで、効率的な工場ホスト運用を実現します。
- Cimetrix HostConnect: HSMSを介したSECS-IIメッセージングを使用してホストアプリケーションを作成するための拡張ソフトウェアライブラリ。
- Cimetrix SECSConnect™: SECS-IまたはHSMSを介したSECS-IIメッセージングを使用したアプリケーション作成のためのライブラリ。
テストテスト
- Cimetrix EquipmentTest： SEMI規格への装置インターフェース準拠を検証し、工場ホストシステムとの統合を効率化するために設計された包括的なSECS/G EMテストソリューション。