배경
올해 SEMI 북미 정보 및 제어 위원회(Information & Control Committee)의 겨울 정기 회의는 참여도를 높이고 편의성을 증진하기 위한 SEMI의 시범 사업으로 온라인으로만 진행되었습니다.
예년과 마찬가지로, 첫 이틀은 GEM 300, ABFI(Advanced Backend Factory Integration), GUI, CDS(Fab & Equipment Computer & Device Security), DDA(Diagnostics Data Acquisition) 및 새로 신설된 디지털 트윈 태스크포스 등 PDF Solutions가 공동 주관하는 태스크포스 회의에 할애되었습니다. 또한 여느 때와 마찬가지로, 셋째 날은 태스크포스의 권고안을 바탕으로 최종 결정을 내리는 위원회 회의가 열렸습니다. 이 요약문은 선정된 태스크포스 세션과 위원회 회의에서 논의된 주요 내용을 정리한 것입니다.
위원회에서 승인된 모든 투표안은 SEMI 글로벌 감사 및 검토 위원회의 최종 검토를 거쳐야 함을 유의하시기 바랍니다. 북미 정보 및 제어 위원회 내에서는 드문 경우이긴 하지만, SEMI의 절차와 규정을 엄격히 준수하지 않을 경우 투표안이 부결될 수 있습니다.
SNARF(표준 신규 활동 보고서 양식)은 태스크 포스가 신규 표준 제안 또는 기존 표준 변경을 위한 투표안을 제출하기 전에 기술 위원회의 승인을 받아야 합니다.
더 자세한 정보를 원하시면, SEMI는 글로벌 위원회 활동을 포괄적으로 다루는 종합 웹사이트를 운영하고 있습니다:
새로운 디지털 트윈 태스크포스
이 태스크포스는 새로운 디지털 트윈 표준을 마련하기 위해 SNARF(초안 사양 요청서)를 작성했으며, 이를 배포하여 피드백을 수렴하고 승인을 받을 계획입니다. 이번 첫 번째 사양은 디지털 트윈과 관련된 명확한 정의 확립에 중점을 둘 것입니다. 야심 찬 목표는 7월에 SEMICON West에서 승인을 받기 위해 투표안을 제출하는 것입니다. 궁극적으로 이 태스크포스는 디지털 트윈과 상호작용하기 위한 하나 이상의 인터페이스를 개발할 계획이지만, 이 작업은 아직 구체화되지 않았으며 향후 진행될 예정입니다.
GEM 300 태스크포스
GEM 300 태스크포스(이후 위원회에서도)에서 E116(장비 성능 추적) 및 E90(기판 추적)과 관련된 잘 알려진 변수 문제 해결을 위한 2건의 투표안이 통과되었습니다. 투표안 7425는 데이터 변수와의 충돌을 제거하기 위해 일부 E116 상태 변수의 잘 알려진 이름을 수정했습니다. 투표안 7345A의 항목 #2는 다른 잘 알려진 명명 규칙과의 일관성을 위해 두 개의 수집 이벤트 잘 알려진 이름을 수정합니다. GEM 300 표준은 표준 변수, 수집 이벤트 및 경보에 임의의 이름과 식별 번호를 사용할 수 있도록 허용하므로, 잘 알려진 이름은 구현에서 표준으로의 표준 매핑을 제공합니다. 잘 알려진 이름은 SEDD 파일에 보고되어야 하며, EDA(Equipment Data Acquisition) 표준에서 사용될 것입니다. 단, 발로트 내의 각 항목은 발로트 내의 다른 항목과 독립적으로 투표된다는 점에 유의하십시오.
투표안 7345A E90 ‘기판 추적 사양’의 항목 1은 배치의 수명과 관련된 논란으로 인해 부결되었습니다. 배치란 여러 기판을 동시에 처리하는 것을 의미합니다. 기판을 함께 이동시켜 처리하는 데에는 다양한 방법이 존재하며, 이로 인해 배치를 생성하고 삭제해야 하는 시점에 대한 의견 차이가 발생했습니다. 이 투표안은 두 가지 문제를 해결하기 위한 것입니다. 첫째, 배치 위치(Batch Location) 상태 모델에서 상태 정의와 전환 테이블 사이에 명백한 모순이 존재합니다. 현재 표준에서는 UNOCCUPIED 상태를 기판이 없는 상태로 정의하고 있으나, 전환 테이블은 배치 내의 모든 기판이 배치 위치로 이동된 경우에만 OCCUPIED 상태로의 전환을 허용합니다. 이 문제를 해결해야 한다는 점에는 이견이 없으나, 세 가지 해결 방안이 제시되었습니다. 다른 문제는 배치 내의 모든 기판이 배치 위치에 도달할 때까지 기판을 배치 위치로 이동할 때 수집 이벤트가 보고되지 않는다는 점입니다. 배치 장비의 경우, 이는 해당 기간 동안 기판 추적이 이루어지지 않음을 의미합니다. 투표가 부결된 이유는 일부는 배치가 완료될 때까지(모든 기판이 존재할 때까지) 배치 객체가 존재해서는 안 된다고 생각하고, 일부는 기판이 하나도 존재하지 않더라도 배치 객체가 존재할 수 있다고 생각하며, 또 일부는 적어도 하나의 기판은 존재해야 한다고 생각하기 때문입니다. 어떤 의견도 기술적으로 틀리거나 근거가 없는 것은 아니지만, 기술적 해결책은 단 하나만 존재할 수 있습니다. 태스크포스가 합의점을 찾을 수 있기를 바랍니다.
현재 검토 중인 안건 중 가장 영향력이 큰 것은 7428호로, 안전한 HSMS 통신을 표준화하기 위한 내용을 담고 있습니다. 이는 오랫동안 기다려온 사양입니다. 이 안건의 첫 번째 버전은 다소 조잡하게 작성되었으며, 기술적 접근 방식과 관련된 논란을 도출해 내기 위한 목적이었습니다. 이 안건은 통신 구축을 위해 다음 세 단계를 제안합니다:
1. TCP/IP
2. TLS(Transport Layer Security) 및
3. HSMS-SS.
투표 결과가 (인증서 검증 세부 정보가 누락된) 타당한 기술적 사유로 인해 부결되었지만, 모든 투표자 사이에서 (TLS 적용이라는) 이 접근 방식이 원칙적으로 올바른 기술적 해결책이라는 데 강력한 공감대가 형성되어 있으며, 이제 세부 사항만 조율하면 됩니다. 이 근본적인 접근 방식에 반대하는 투표자는 단 한 명도 없었습니다. 가능한 기술적 접근 방식이 다양하다는 점을 고려할 때, 이러한 공감대를 형성한 것은 큰 성과입니다.
진단 데이터 수집(DDA) 태스크포스
DDA 태스크포스는 현재 gRPC를 활용한 EDA 표준의 Freeze 3 버전을 개발 중입니다. 지난 투표 주기에는 Freeze 3과 관련된 두 건의 투표가 진행되었습니다.
E164 안건 7422호가 부결되었습니다. Freeze 3 버전에는 E164 표준이 포함될 예정이므로, Freeze 3 버전을 확정하기 전에 이 안건이 통과되어야 합니다. 해당 안건은 태스크포스에서 재검토한 후 다시 표결에 부쳐질 예정입니다.
투표안 7419에는 세 가지 안건이 포함되어 있었습니다. 첫 번째 안건은 ID와 GEM 인터페이스 간의 새로운 매핑을 제안한 것이었습니다. 이 투표안은 부결되어 더 이상 추진되지 않을 예정입니다. 제안된 해결책은 본래의 목표였던 부피를 줄이는 대신 EDA 장비 모델에 불필요한 부피를 더하는 결과를 낳았습니다. 두 번째 항목은 사이버 보안을 강화하기 위해 새로운 SecurityCertificateChanged 알림을 추가하는 것이었습니다. 이 투표안은 통과되었습니다. 세 번째 항목에는 태스크포스 구성원들이 제안한 다양한 변경 사항이 포함되어 있었습니다. 이 투표안은 부결되어 재검토될 예정입니다. 또한 해당 투표안의 범위 내에서 제안된 몇 가지 추가 변경 사항도 포함될 것입니다.
EDA 3차 프리즈 완료가 임박해 있지만, 가장 낙관적인 시나리오를 가정하더라도 2026년 말경에야 공개될 것으로 보입니다.
ABFI(고급 백엔드 팩토리 통합) 태스크 포스
ABFI 태스크포스에서 몇 가지 투표안이 마련 중이지만, 아직 투표에 부쳐진 안건은 없어 투표 심사가 진행되지 않았습니다. 향후 SEMI E142 기판 매핑과 관련된 투표안이 추가되어 더 많은 추적성 사용 사례를 지원할 것으로 예상됩니다.
CDS(제조 및 장비 컴퓨터·기기 보안) 태스크포스
CDS 태스크포스에 대한 투표 결과는 없었습니다. SEMI E188 장비 사이버 보안 표준에 대한 지지가 줄어들면서, 태스크포스는 향후 이 사양을 어떻게 처리할지에 대한 논의를 시작했습니다. 모든 선택지가 여전히 검토 대상에 포함되어 있습니다.
현재 SEMI 표준 E191(컴퓨팅 장치의 사이버 보안 상태 보고에 관한 사양)을 개선하기 위해 Ballot 7426이 개발 중에 있습니다. 다음은 사이버 보안과 관련하여 GEM 인터페이스를 통해 보고해야 하는 데이터의 세부 내역입니다.
- E191-1024 (현재 공개된 버전): ComputingDeviceIndentifier, OSManufacturer, OSName, OSVersion, OSBuild
- 투표용지 7311A 추가 항목: OSInstalledUpdated, OSInstalledComponents
- GEM (SEM E30): MDLN, SOFTREV, EqSerialNum, E30EquipmentSupplier, EqpName
투표안 7311A가 발표될 때까지 투표안 7426은 제출되지 않을 것입니다. 추가될 내용의 전체 범위는 아직 확정되지 않았으나, 공장에서 사이버 보안 위험을 평가할 수 있도록 지원하는 장비-컴퓨터 인터페이스가 더 포함될 예정입니다.
다음 단계
북미 정보 및 제어 위원회는 다음 투표에 SEMI 투표 주기 4를 적용할 예정입니다. 투표용지는 2026년 3월 16일(월)까지 SEMI에 제출해야 합니다. 투표 기간은 2026년 3월 25일부터 4월 24일까지입니다. 이 투표 결과는 2026년 5월 11일부터 14일까지 뉴욕주 올버니의 힐튼 호텔에서 열리는 북미 여름 SEMI 표준 회의에서 ASMC(Advanced Semiconductor Manufacturing Conference)와 함께 심의될 예정입니다.