背景
今年,SEMI北美信息与控制委员会的冬季会议仅以线上形式举行,这是SEMI为提高参与度和便利性而进行的一项尝试。
与往常一样,前两天专门用于各工作组会议,包括GEM 300、ABFI(先进后端工厂集成)、GUI、CDS(晶圆厂与设备计算机及设备安全)、DDA(诊断数据采集)以及新成立的数字孪生工作组,所有这些工作组均由PDF Solutions共同领导。 同样如往常一样,第三天预留给委员会会议,通常根据各工作组的建议在此作出最终决策。本摘要重点介绍了部分工作组会议及委员会会议中的关键进展。
请注意,所有经委员会批准的投票表单均须接受SEMI全球审计与审查委员会的最终审核。尽管在北美信息与控制委员会中这种情况较为罕见,但如果未严格遵守SEMI的程序和规定,投票表单仍可能被否决。
在工作组提交提案新标准或修改现有标准的投票前,必须先获得技术委员会对SNARF(标准新活动报告表)的批准。
如需获取更详细的信息,SEMI运营着一个全面的网站,涵盖全球委员会的各项活动:
新数字孪生工作组
该工作组制定了一份《标准草案》(SNARF),旨在制定一项新的数字孪生标准,并计划将其发布以征求反馈并获得批准。该首份规范将侧重于确立清晰的数字孪生相关定义。其宏伟目标是在7月提交投票,以期在SEMICON West大会上获得批准。最终,该工作组计划开发一个或多个用于与数字孪生交互的接口,但这项工作目前尚未明确,预计将在未来某个时间点开展。
GEM 300 特别工作组
在GEM 300工作组(以及后来的委员会)中,通过了两项与解决 E116(设备性能跟踪)和 E90(基板跟踪)相关已知变量问题有关的表决。 第 7425 号表决案修改了部分 E116 状态变量的已知名称,以消除与数据变量之间的冲突。第 7345A 号表决案的第 2 项修改了两个采集事件的已知名称,以与其他已知命名保持一致。由于 GEM 300 标准允许标准变量、采集事件和报警使用任意名称和任意标识号,因此已知名称为从实现到标准的映射提供了标准依据。 已知名称应在SEDD文件中报告,并将被EDA(设备数据采集)标准采用。请注意,表决案中的每一条目均独立于表决案中的其他条目进行投票。
投票7345A E90《基板追踪规范》中的第1项因围绕批次生命周期的争议而未获通过。所谓批次,是指一组基板同时进行处理的情况。 关于将基板集中移动以供处理的方法多种多样,这导致了在何时创建和删除批次方面存在分歧。该表决旨在解决两个问题。首先,在“批次位置”状态模型中,状态定义与状态转换表之间存在明显的矛盾。 当前标准将“未占用(UNOCCUPIED)”状态定义为无基板,但状态转换表仅允许在批次中所有基板均移至批次位置时才可转换至“占用(OCCUPIED)”状态。各方均认同此矛盾亟待解决,目前已提出三种解决方案。另一个问题是,在将基板移至批次位置时,若批次中所有基板尚未全部到达,则不会报告任何收集事件。 对于批处理设备而言,这意味着在此期间无法进行基板追踪。该提案未能通过,因为部分人认为批处理对象应在批处理完成(所有基板到位)后才存在;部分人认为即使在任何基板到位之前,批处理对象也可以存在;还有部分人认为至少应有一个基板到位。这些观点在技术上均无错误或缺乏依据,但技术解决方案只能有一种。希望工作组能够达成共识。
目前正在制定中最具影响力的提案是 7428 号提案,该提案旨在规范安全的 HSMS 通信。这是一项早该出台的规范。该提案的首个版本编纂得略显粗糙,旨在引发针对技术方案的争议。该提案提出了建立通信的三个阶段:
1. TCP/IP
2. TLS(传输层安全协议)和
3. HSMS-SS。
尽管该提案因技术原因(缺少证书验证细节)未获通过,但所有投票者都强烈认同,总体而言这是一种正确的技术方案(引入 TLS),我们只需敲定最终细节即可。没有一位投票者对这一基本方案提出异议。鉴于存在多种可行的技术方案,达成这一共识实属重大胜利。
诊断数据采集(DDA)工作组
DDA 工作组目前仍在使用 gRPC 开发 EDA 标准的 Freeze 3 版本。在上一轮投票周期中,我们进行了两轮与 Freeze 3 相关的投票。
E164 投票 7422 未获通过。由于 Freeze 3 版本将包含 E164 标准,因此该投票必须通过,我们才能发布 Freeze 3 版本。该提案将由工作组重新修订,并再次进行投票。
第7419号投票包含三项内容。第一项提议对ID与GEM接口进行新的映射。该投票未获通过,将予以终止。 该提案不仅未能如预期般精简 EDA 设备模型,反而增加了冗余。第二项内容新增了 SecurityCertificateChanged 通知,旨在增强网络安全。该表决已通过。第三项内容包含工作组成员提出的多种变更。该表决未获通过,将进行修订。修订版还将纳入该表决范围内提出的其他变更。
虽然我们距离完成EDA冻结3版已近在咫尺,但在最理想的情况下,该版本可能要到2026年底才能发布。
ABFI(高级后端工厂集成)工作组
ABFI 工作组目前正在制定几份投票案,但均未提交供投票表决;因此,此次未进行投票裁决。未来,预计将推出一些与 SEMI E142 基板映射相关的投票案,以支持更多可追溯性用例。
CDS(工厂与设备计算机及设备安全)工作组
CDS工作组未对任何提案进行裁决。鉴于对SEMI E188设备网络安全标准的支持度下降,该工作组已开始讨论今后如何处理该规范。所有选项均仍在考虑之中。
目前正在制定第7426号提案,旨在完善SEMI E191标准(即计算设备网络安全状态报告规范)。以下是需要通过GEM接口报告的与网络安全相关的数据明细。
- E191-1024(当前发布版本):ComputingDeviceIndentifier、OSManufacturer、OSName、OSVersion、OSBuild
- 选票 7311A 新增项:OSInstalledUpdated、OSInstalledComponents
- GEM (SEM E30):MDLN、SOFTREV、EqSerialNum、E30EquipmentSupplier、EqpName
在第7311A号提案发布之前,第7426号提案不会提交。新增内容的完整范围尚未确定,但将包括更多设备计算机接口,以便工厂评估网络安全风险。
下一步行动
北美信息与控制委员会将采用SEMI第4轮投票周期进行下一轮投票。选票须于2026年3月16日(星期一)前提交至SEMI。 投票期为2026年3月25日至4月24日。这些选票将在2026年5月11日至14日于纽约州奥尔巴尼希尔顿酒店举行的北美夏季SEMI标准会议上进行裁决,该会议将与ASMC(先进半导体制造会议)同期举行。