独特且强大的表征能力
PDF Solutions是公认的参数化表征系统商业领导者,率先采用短流程测试芯片开发和推进新技术及产品,过去二十年间通过集成良率提升项目积累了数百项验证成果。CV®系统现已开放订阅服务。
我们的表征载具系统
CV系统提供差异化的参数化电气数据,当与Exensio分析平台结合使用时,可提供可操作的洞察,显著缩短设计迭代周期,并将产品上市时间提前长达三个月。
CV系统是专为我们自主研发的pdFasTest®并行参数测试仪设计的高密度CV测试芯片布局组合,其数据生成速度比传统测试芯片系统快100倍,并能自动导入Exensio®分析平台。整个系统经过优化,可生成标注所有关键设计属性的纯净数据,支持高效的摘要分析与深入钻取分析。
CV系统提供低于十亿分之一的统计分辨率,采用宽幅布局的实验设计(DoE),具备区域效率优势及自动化分析功能。其业务目标以无与伦比的周转时间实现:短流程制造将处理时间缩短数周至数月,整批全光罩CV的100%测试与分析可在一天内完成。

特性化载具测试芯片
PDF Solutions已提供逾百枚10纳米及以下工艺的CV测试芯片。经实践验证,CV测试芯片能有效体现工艺与布局间的相互作用,这对验证和监控高良率、稳定的生产至关重要。每枚CV测试芯片均凝聚我们数十年的行业经验,并采用专有布局及针对您产品设计风格和/或工艺技术定制的实验设计(DoE)。

无晶圆厂半导体企业的简历管理系统
首次成功流片对业务成功至关重要。 稳定的量产能力是优化在制品管理和提升利润的必要条件。无晶圆厂专用的CV系统通过提供参数化洞察,助力实现您的目标。MPW CV、产品侦探CV和直接探针CV测试芯片能在量产前揭示功能性与参数性缺陷。刻痕CV测试芯片及CV核心IP模块则提供监测与快速诊断能力,以优化成本实现高质量量产。
铸造厂和IDM的CV系统
二十多年来,PDF Solutions始终助力代工厂和IDM厂商在技术开发与量产爬坡阶段实现世界级的学习效率。 客户依托短流程后端(BEOL)和前端(xFEOL)验证测试芯片(支持全光罩或共享光罩方案),以最小化工艺、测试及分析时间实现单晶圆最大化学习效益。划线验证技术在量产阶段提供全晶圆空间覆盖,并支持关键产品的定制化验证,从而实现快速新品导入与持续良率提升所需的可观测性。

在批量生产中最大化稳健性与可预测性
通过特性分析车提供的全面设备特性数据,结合Exensio分析平台的产品测试数据分析,能够实现精准的产品特定性能建模,从而获得最优的产品特定工艺参数设置,最大化提升制造过程的稳健性和可预测性。

