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动态配置

轻松配置设备以支持不同型号或整个系列的设备类型。CIM300的动态灵活性确保了跨多系统的可扩展性和适应性,且无需增加额外复杂性。

动态配置CIM300,轻松支持设备变体或整个设备系列。在系统间实现扩展与适配,无需增加复杂性。

简化API框架

复杂的制造场景(包括载体和插槽映射验证)被简化为几个API调用。该框架节省了宝贵的工程时间,并降低了集成过程中的出错率。

仅需少量API调用即可实现复杂制造场景,例如载体和插槽映射验证。该框架可节省工程时间并最大限度减少集成错误。

模块化GEM300标准实施

CIM300支持您以完整套件或独立组件的形式实施GEM300标准。例如,您可单独运行E90(基板追踪)而不需E87(载具管理),或运行E40(工艺任务)而不需E94(控制任务),为后端操作提供无与伦比的灵活性。

部署GEM300标准时,可选择采用完整集成套件,或仅实施所需组件。凭借CIM300的模块化架构,您可独立激活E90(基板追踪)功能而无需E87(载具管理),或单独启用E40(工艺任务)而不依赖E94(控制任务)——这种灵活性使您能够根据具体运营需求定制解决方案。

产品可靠性与成熟度

基于Cimetrix CIMConnect平台——该平台是SEMI SECS/GEM标准合规领域的可信赖领导者——CIM300提供了一套强大而成熟的解决方案,支持全球所有300毫米晶圆厂普遍采用的多项集成功能。

依托基于Cimetrix CIMConnect构建的强大、成熟解决方案。CIM300在全球300毫米晶圆厂中广受信任,确保符合SEMI SECS/GEM标准规范。

技术规格

  • 支持的标准:
    • SEMI E5
    • SEMI E30
    • SEMI E37
    • SEMI E39
    • SEMI E40
    • SEMI E87
    • SEMI E90
    • SEMI E94
    • SEMI E116
    • SEMI E148
    • SEMI E157
  • 编程集成:支持使用C++、C#和VB.NET编写的应用程序
  • 内置测试工具:Cimetrix EquipmentTest Pro GEM300 许可证随 CIM300 SDK 一并提供,用于支持手动和自动合规性测试。
  • 兼容性:完全兼容Windows系统,并可满足各类工厂特有的应用场景需求。
  • 最低规格:
    • 内存:4 GB RAM(32位操作系统)或8 GB RAM(64位操作系统)
    • 硬盘空间:
      • 应用程序安装需100 MB空间
      • 为日志和诊断文件预留的250 GB额外空间
      • 出于传统硬盘(非固态硬盘)的性能考虑,请将硬盘空间规划为:已部署软件及预留日志文件空间占用量不超过硬盘总容量的50%。随着硬盘空间逐渐填满,其性能将显著下降。
    • 处理器:英特尔酷睿i5或i7四核CPU或同等性能处理器
    • 操作系统:Cimetrix强烈 建议使用64位操作系统(例如Windows 7 64位,而非Windows 7 32位)。
    • 协议:TCP/IP

支持

我们的解决方案包含培训、示例应用程序和详细文档,以确保开发流程顺畅。工程师可完全信赖Cimetrix。

常见问题

  1. 哪些SEMI标准被视为"GEM300"的一部分?
    GEM 300接口至少必须符合以下SEMI标准:E5、E30、E37、E39、E40、E87、E90、E94。
    Cimetrix还将其CIM300纳入以下SEMI标准:E116、E157
  2. GEM300标准的主要特点是什么?
    GEM300标准是一套SEMI标准,最初旨在支持完整的300毫米晶圆厂自动化。这些标准基于GEM标准中定义的数据采集技术,包括数据变量、状态变量、报警和设备常数的采集事件。GEM300套件新增了标准化衬底追踪、载具管理、任务管理、设备性能追踪和工艺模块追踪功能。
  3. GEM 300标准是否仅适用于300毫米晶圆厂?
    否。虽然300毫米晶圆厂需要100%的生产设备实施GEM300标准,但这些标准均未涉及晶圆尺寸。该标准不仅不限于300毫米晶圆,甚至不限于前端制造环节。 近期对标准的若干修订使其能够应用于半导体后端领域,包括封装组装和测试设备——这些设备使用的基材并非晶圆。
  4. CIM300相较于其他解决方案有何独特之处?
    CIM300具备高度灵活性,支持对GEM300标准进行部分实施。其丰富的API集群能简化最复杂的制造场景,显著缩短开发周期并降低成本。
  5. 在集成过程中,工程师可获得哪些支持?
    我们提供深入的培训课程、集成服务、示例应用程序,以及覆盖全球的本地服务和支持工程师网络,全程协助您的团队完成集成过程。
  6. CIM300是否能在不同 晶圆厂和设备类型间兼容
    是的,CIM300已在所有300毫米晶圆厂实现部署并获得信任,支持多种设备类型,使其能够高度扩展并满足各类工厂需求,确保可靠性。
  7. 我能否将CIM300用于现有应用程序?
    当然。CIM300是实现现有应用程序符合GEM300标准的理想选择。