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先进表征工具

  • GEM功能界面:用于管理报警、采集事件、事件报告、状态变量、设备常量、数据变量、配方、追踪报告及终端通信的交互式用户界面。
  • GEM300协议支持:专为执行GEM300消息和场景设计的用户界面,仅需最基础的协议知识即可操作。
  • 性能监控:针对跟踪报告和状态变量查询提供实时图形化吞吐量分析。
  • 个人消息
  • 消息诊断:对所有SECS/GEM消息进行完整的SMN和GUI日志记录,以实现深度诊断。

可扩展架构

  • 定制插件开发:使用C#和Visual Studio构建并集成定制测试。
  • 配置管理:跨团队和组织保存并共享测试配置文件。
  • 参数映射:在自定义测试中同时支持自动和手动参数映射。
  • 宏功能:将消息分组为序列,以应对复杂的测试场景。

产品版本

  • 基础版:包含测试屏幕、消息屏幕、设备接口验证插件,并支持运行在专业版中开发的自定义插件。
  • 专业版:包含所有基础功能,并支持GEM功能界面、静默GEM兼容性、GEM兼容性插件,以及创建自定义插件的能力。
  • GEM300:包含所有专业版和基础版功能,另附带GEM300插件及其交互式GEM300功能屏幕。

技术规格

  • 支持的SEMI标准:
    • SEMI E30– GEM标准
    • SEMI E173– SECS消息标记法
    • SEMI E39、E40、E87、E90、E94– GEM300标准
    • 自定义协议扩展——通过插件架构实现支持
  • 操作系统:Windows 10/11(64位),Windows Server 2012 R2/2016(仅限英文版)
  • 框架:Microsoft .NET Framework 4.8,Windows Installer 4.5
  • 硬件:2+ GHz 四核 i5/i7 处理器,最低 4 GB 内存,250 GB 硬盘
  • 开发工具:Microsoft Visual Studio 2005–2022(用于自定义插件开发)
  • 支持协议:SEMI HSMS-SS 和 SECS-II

支持

我们的解决方案包含培训资源、示例应用程序和详细文档,以加速开发进程。Cimetrix的全球支持团队随时为工程师提供关键实施阶段的协助,确保部署顺利成功。

常见问题

  1. EquipmentTest Basic、Pro 和 GEM300 版本有何区别?
    Basic:提供基础测试工具,包括测试界面、消息界面、设备接口验证插件,以及运行 Pro 版本开发的自定义插件的能力。
    Pro:包含所有 Basic 功能,外加 GEM 功能界面和完整的 GEM 合规性测试,并支持创建自定义测试插件。
    GEM300:提供所有专业版功能,并具备高级GEM300特性及场景测试能力。
    此外,客户支持门户为专业版和GEM300版用户提供带源代码的GEM300测试场景。
  2. 能否使用EquipmentTest开发自定义测试?
    Pro 版和GEM300版均支持使用C# .NET开发自定义插件。EquipmentTest开发者指南提供了详细文档,协助创建和部署自定义测试。这些插件可在所有EquipmentTest版本中执行。
  3. EquipmentTest 如何保持与行业标准同步?
    Cimetrix 持续维护 EquipmentTest,使其符合最新批准的 SEMI 标准。定期更新确保您的测试环境始终符合不断发展的行业要求。
  4. EquipmentTest支持哪些消息协议?
    EquipmentTest原生支持SEMIHSMS-SS和SECS-II协议。通过其可扩展的插件架构,可集成更多通信协议。
  5. 测试配置能否在团队间共享?
    EquipmentTest 允许用户导出配置文件——包括连接设置、参数映射和测试偏好——这些配置可在团队、工厂和设备供应商之间共享,以确保测试流程的一致性和可重复性。