本博客最初发布于cimetrix.com。
引言
先前文章曾探讨过通过GEM接口收集数据的功能,以便最新文章所述的工厂应用程序能够分析这些数据。本文将回归SEMI E30 GEM(通用设备模型)标准的具体特性与功能讨论,重点聚焦于设备错误状况的管理机制。
在理想世界里,万事皆按计划进行;但现实中,总会出岔子。成功的秘诀在于能及时察觉问题,并作出恰当应对。
警报
就像家庭安防系统一样,半导体工厂需要及时掌握异常情况的发生。它们力求避免正在加工的材料报废。警报管理使设备能在故障发生时通知主机,并提供故障详情。GEM标准将警报管理定义为:设备发生警报状态时,向主机发送通知并管理该状态的能力。

在GEM系统中,警报指设备上任何可能危及人员、设备或加工物料的异常状况。例如,当技术人员打开检修门更换部件时,设备应发出警报通知主机当前状态下运行设备不安全。 另一个例子是:当设备需高温加工时,若传感器检测到低温状态,则应触发警报——在此条件下运行可能损坏加工物料。设备制造商还负有责任,在出现警报状态时禁止设备执行不安全操作。制造商最清楚设备需要哪些特定警报来保障人员、设备及物料的安全。
在设备发生告警条件时,通常需要获取更多关于当时设备状态的信息。将这些附加信息传递给主机具有重要价值,但无法通过常规的告警报告发送/应答消息实现。 为获取此类附加信息,GEM要求针对设备上每种可能的报警状态定义两个采集事件——一个用于报警触发时,另一个用于报警解除时。这些采集事件使GEM事件数据采集机制能够在报警状态变化时,将相关附加信息发送至主机。

除提供告警状态变化的时间外,设备上的告警管理功能必须允许主机请求获取所有告警ID及其关联告警文本的列表。主机还必须能够启用/禁用设备上的单个告警,并查询设备当前启用用于报告的告警列表。
警报的状态图虽不甚精彩,却能满足关键需求。下图展示了警报状态图:
GEM警报仅有两种状态:每个警报要么处于设置状态,要么处于清除状态。设计简洁却高效。
告警管理并非高深莫测,但通过有效运用告警管理,工厂能够密切监控工艺设备的运行状态,最大限度地减少对生产良率的负面影响。