컴파운드 반도체 수율 관리의 종단간 접근법 기조 발표
발표자: 스티브 자멕, 데이브 헌틀리, 존 홀트; PDF 솔루션스
초록:
복합 반도체의 발전은 초기 재료의 높은 불량률로 인해 저해됩니다. 본 연구에서는 실리콘 카바이드 제조 기술을 사례로 삼아 수율 향상 및 생산 능력 확장을 주도하는 제조 분석 도구와 방법론에 대한 개요를 제시합니다. 우리는 두 가지 현장 간 인수인계 사례에 주목한다: 기판의 IC 프런트엔드 팹 또는 파운드리로의 인수인계와 웨이퍼의 조립 및 테스트 현장으로의 인수인계이다. 기업 차원의 빅데이터 플랫폼 구축을 통해 종합적인 종단간 수율 관리가 가능해진다. 이 프레임워크는 팹리스 기업과 IDM 모두에 적용된다. 또한 완전 아웃소싱형, 완전 수직 통합형 IDM 및 그 사이의 모든 형태로 확장된다.
키워드: 화합물 반도체, 실리콘 카바이드, 제조 분석, 공정 제어, 수율 관리
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