초록: SiC 기술은 배터리 전기차 보급을 위한 공격적인 로드맵과 산업용 고전압/고전력 응용 분야에 힘입어 가장 빠르게 확장되는 IC 제조 기술이라 할 수 있다. 본 논문은 까다롭고 긴 SiC 기판 성장부터 복잡한 MOSFET 조립 공정까지의 도전 과제에 초점을 맞춰 SiC 기술의 최신 동향을 종합적으로 개관한다. 기존 Si 제조 공정과의 차별점에 주목하며, 이 기술의 핵심 제조 공정에 대한 포괄적인 참고문헌 목록과 본 연구진의 연구 내용을 간략히 소개한다. 또한 SiC 기술 및 제품 로드맵을 제시한다.
키워드: SiC MOSFET; SiC 기술; 자동차 산업; 배터리 전기차
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