초록: 본 논문에서는 PDF Solutions가 4nm FinFET 공정 노드까지 구축 및 배포한 첨단 전자빔 결함 검사 장비(eProbe®250)와 Design-for-Inspection™(DFI) 시스템을 보고한다. 이 장비는 매우 높은 처리량을 갖춰 최첨단 공정 노드에서 나노미터 수준의 결함을 인라인으로 검사할 수 있다. 또한 체계적인 매몰 결함 검출 및 공정 윈도우 특성화에 대한 eProbe 적용 사례를 제시합니다.
키워드: 전자빔 검사, 핀펫, 수율