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서론
이전 게시물에서는 GEM 인터페이스를 통해 데이터를 수집할 수 있는 기능에 대해 다루었으며, 이를 통해 최근 게시물에서 설명한 공장 애플리케이션이 해당 데이터를 분석할 수 있게 되었습니다. 이번 게시물에서는 SEMI E30 GEM(Generic Equipment Model) 표준의 구체적인 기능과 역량, 특히 장비의 오류 상태 관리에 대한 논의로 돌아가겠습니다.
완벽한 세상에서는 모든 것이 계획대로 진행되지만, 현실에서는 항상 문제가 발생한다. 성공의 비결은 문제가 생겼을 때 이를 인지하고 적절히 대응하는 능력에 있다.
경보
가정용 경보 시스템과 마찬가지로 반도체 팹은 문제가 발생했을 때 이를 즉시 파악하고자 합니다. 가공 중인 재료가 폐기되는 것을 방지하기 위함입니다. 경보 관리는 장비에 문제가 발생했을 때 호스트에 알리고, 문제의 원인을 파악할 수 있는 정보를 제공하는 기능을 의미합니다. GEM 표준은 경보 관리를 '장비에서 발생하는 경보 상태에 대한 호스트 알림 및 관리 기능을 제공하는 능력'으로 정의합니다.
GEM에서 경보란 사람, 장비 또는 가공 중인 재료를 위험에 빠뜨릴 수 있는 장비의 모든 비정상적인 상황을 의미합니다. 예를 들어, 기술자가 부품 교체를 위해 접근 패널을 열 경우, 장비는 현재 상태에서 장비를 작동하는 것이 안전하지 않다는 경보를 호스트에 전송해야 합니다. 또 다른 예로, 장비가 가공을 위해 고온이 필요하지만 센서가 저온 상태를 감지하면 경보를 발동해야 합니다. 해당 조건에서 공정을 진행하면 가공 중인 재료가 손상될 수 있기 때문입니다. 또한 경보 상태 발생 시 장비에서 안전하지 않은 활동을 차단하는 것은 장비 제조사의 책임입니다. 장비 제조사는 사람, 장비 및 재료의 안전을 보장하기 위해 장비에 필요한 구체적인 경보가 무엇인지 가장 잘 알고 있습니다.
경보 조건이 발생할 당시 장비 상태에 대한 추가 정보를 확보하는 것이 유용한 경우가 많습니다. 이러한 추가 정보를 호스트에 전달하는 것은 가치 있지만, 일반적인 경보 보고서 전송/확인 응답 메시지를 통해서는 수행할 수 없습니다. 이러한 추가 정보를 획득할 수 있는 방법을 제공하기 위해 GEM은 장비의 각 가능한 경보 조건에 대해 두 개의 수집 이벤트를 정의할 것을 요구합니다. 하나는 경보가 설정될 때, 다른 하나는 경보가 해제될 때를 위한 이벤트입니다. 이러한 수집 이벤트를 통해 경보 상태가 변경될 때 GEM 이벤트 데이터 수집 메커니즘을 사용하여 관련 추가 정보를 호스트로 전송할 수 있습니다.
장비의 경보 관리 기능은 경보 상태 변경 시점을 제공하는 것 외에도, 호스트가 모든 경보 ID 및 관련 경보 텍스트 목록을 요청할 수 있도록 허용해야 합니다. 또한 호스트는 장비에서 개별 경보를 활성화/비활성화할 수 있어야 하며, 현재 보고용으로 활성화된 경보 목록을 장비에 쿼리할 수 있어야 합니다.
경보의 상태도는 그다지 흥미롭지 않지만, 매우 중요한 역할을 수행합니다. 아래 그림은 경보 상태도를 보여줍니다:
GEM 알람은 두 가지 상태만 가집니다: 각 알람은 설정(SET) 상태이거나 해제(CLEAR) 상태입니다. 간단하지만 효과적입니다.
경보 관리는 어려운 일이 아니지만, 효과적인 경보 관리를 통해 팹은 공정 장비의 상태를 세심하게 모니터링하고 생산 수율에 미치는 부정적인 영향을 최소화할 수 있습니다.