SEMI E109 표준 개요 SEMI E109 표준 개요
SEMI E109, 레티클 및 포드 관리(RPMS) 규격은 반도체 장비가 레티클과 레티클 포드를 관리하는 방식을 표준화합니다. 이 규격은 호스트 시스템이 포드 ID와 내용을 검증하여 생산에 올바른 레티클이 사용되도록 보장합니다. E109는 또한 품질 유지를 위해 레티클 사용 현황과 적격성을 추적합니다.
GEM 300 표준의 일부이긴 하지만, E109는 리소그래피, 레티클 검사 및 베어 레티클 저장 장비에 특화된 표준입니다. 자동화 및 수동 작업을 모두 지원하며, 레티클 전용 워크플로우에 맞게 조정된 E87 캐리어 관리 서비스의 기능을 반영합니다.
SEMI E109 표준의 목적
SEMI E109는 리티클 및 리티클 포드를 관리하는 공장 호스트 시스템과 장비 간 표준화된 인터페이스를 확립합니다. 로드 포트 전송, 포드 ID 및 내용 검증, 잠금 메커니즘과 같은 핵심 프로세스를 정의합니다. 이 표준은 또한 리티클 이동, 식별, 사용 추적 및 자격 인증을 다룹니다. 명확한 상태 모델과 상호작용 시나리오를 제시함으로써, E109는 리티클을 사용하는 다양한 반도체 장비 유형 간 통합을 단순화하고 일관성을 향상시킵니다.이 표준은 레티클과 레티클 포드를 관리하는 공장 호스트 시스템과 장비 간 표준화된 인터페이스를 확립합니다. 로드 포트 전송, 포드 ID 및 내용 검증, 잠금 메커니즘과 같은 핵심
SEMI E109의 주요 개념 및 특징
SEMI E109 표준은 반도체 제조 공정에서 캐리어 관리를 위한 포괄적이고 통일된 프레임워크를 제시합니다. 용어?포드(pod)은 장비 간 레티클을 운반하는 데 사용되는 모든 용기를 의미합니다. E109는 장비의 GEM 300 인터페이스의 일부로 구현되며, 포드와 레티클 간의 상호작용을 관리하는 여러 상태 모델과 서비스를 정의합니다.
핵심 상태 모델핵심 상태 모델
SEMI E109는 부하 포트와 캐리어의 동작 및 상호작용을 관리하기 위한 다중 상태 모델을 정의합니다:
- 레티클 포드 로드 포트 전송: 레티클 포드 로드 포트의 작동 상태를 제어하며, 여기에는 사용 중 상태와 사용 불가 상태 간의 전환이 포함됩니다. 사용 중일 때는 레티클 포드의 로딩, 언로딩 및 전송 차단 기능을 관리합니다.:
- Pod: 호스트 시스템이 포드 ID 및 내용을 검증할 수 있도록 지원합니다. 포드 접근 이벤트, 포드 관련 작업 완료를 보고하고 포드 잠금 메커니즘을 관리합니다.
- 접근 모드: 자동화 물류 시스템(AMHS)을 통해 포드 전달/제거가 수동으로 이루어지는지 자동으로 이루어지는지 구성합니다.
- 로드 포트 예약: 특정 로드 포트에 포드가 예약되었을 때 통신합니다.:
- 로드 포트/캐리어 연결: 포드와 로드 포트 간의 제휴 관계를 보고합니다.:
- 레티클: 레티클 자격 인증, 입자 검사 및 사용 현황을 관리하고 보고합니다.
- 레티클 할당: 레티클이 로트에 할당될 때 보고합니다. : 로트에 레티클이 할당되었을 때 보고합니다.
- 레티클 위치: 레티클 위치가 점유되었을 때 보고합니다.
추가 표준화 기능
E109은 상태 모델 외에도 레티클 관리를 향상시키는 여러 추가 기능을 포함합니다:
- 알림: 포드 클램핑/언클램핑, 도어 개폐, 레티클 ID 리더 가용성 변경 등을 포함한 상세한 이벤트 보고를 제공합니다.
- 서비스: 상태 모델과 관련된 서비스 외에도, 포드 태그를 읽고 쓰는 서비스를 정의합니다.:
- 왕복 시나리오: 정상 및 비정상 운영 시나리오를 모두 설명하며, 상태 모델과 서비스 간의 상호작용 방식을 보여줍니다.
- 내부 포드 버퍼: 내부 포드 스토리지를 갖춘 장비를 지원하며, 외부 로드 포트로의 포드 이동을 요청하는 서비스를 정의하고 스토리지를 추적합니다.: 내부 포드 저장 장치를 갖춘 장비를 지원하며, 외부 로드 포트로의 포드 이동을 요청하는 서비스를 정의하고 저장 장치를 추적합니다.
- 경보: 예상치 못한 캐리어 및 로드 포트 관련 오류, 장애 또는 비정상 상태를 호스트 시스템에 알림으로써, 신속한 진단 및 시정 조치를 가능하게 합니다.
- SECS/GEM과의 통합: SEMI E109.1은 SEMI E109 기능을 공장 호스트와의 통신을 위한 SECS/GEM 인터페이스에 매핑하는 하위 표준입니다. SECS/GEM과의 통합
이러한 기능들은 종합적으로 재료 수송을 위한 강력하고 표준화된 실행 프레임워크를 구축하여 첨단 제조 환경에서 효율적이고 신뢰할 수 있는 운영을 가능하게 합니다.
SEMI E109 표준의 산업적 중요성
SEMI E109 표준은 현대 반도체 제조의 중요한 부분으로, 리티클을 취급하는 장비에 대한 효율적이고 자동화된 재료 취급을 가능하게 합니다. 이 표준의 채택은 다음과 같은 주요 이점을 제공합니다:
- 운영 효율성 향상: 레티클 포드 이송 공정과 레티클 검증을 표준화함으로써 E109는 오류를 줄이고 지연을 최소화하며 전체 처리량을 향상시키고 제품 품질을 개선합니다.
- 장비 및 시설 간 상호운용성: E109는 장비 공급업체나 지리적 위치에 관계없이 포드와 레티클 간의 일관된 동작과 호환성을 보장하여 통합된 글로벌 제조 생태계를 조성합니다.
- 비용 절감: 이 표준은 수동 개입을 최소화하고, 장비 통합 복잡성을 줄이며, 가동 중단 시간을 단축하여 반도체 제조업체 및 생산 시설에 상당한 비용 절감 효과를 제공합니다.:
- 원활한 자동화 통합: E109는 완전 자동화, "무인" 제조 환경 구현에 필수적인 자동화 물류 시스템(AMHS)과 같은 자동화 시스템 통합을 위한 강력한 프레임워크를 제공합니다.: E109는 완전 자동화된 '무인' 제조 환경 구현에 필수적인 자동화 시스템(예: 자동화 물류 시스템(AMHS))을 통합하기 위한 강력한 프레임워크를 제공합니다.
- 광범위한 산업 채택: E109는 리티클이 장착된 장비의 300mm 프런트엔드 제조 시설에서 필수적으로 요구됩니다.
이 표준은 레티클 취급, 검증 및 추적에 적용되어 제조 워크플로우를 최적화함으로써 반도체 제조 공정에서 높은 정확도와 생산성을 보장합니다.
자주 묻는 질문FAQ
도구는 E87과 E109를 모두 구현할 수 있습니까?
예. 기판이 들어 있는 캐리어와 레티클이 들어 있는 포드를 모두 처리하는 장비라면 E87 및 E109 표준이 모두 적용됩니다.
SEMI E109 표준을 지원하는 PDF 제품 SEMI E109 표준을 지원하는 PDF 제품
PDF는 E109 표준을 포함한 SEMI 표준 준수를 위해 설계된 다양한 고급 연결성 및 자동화 솔루션을 제공합니다.
장비 측면
- Cimetrix CIM300: 300mm 팹을 위한 GEM300 표준 준수를 지원하며, GEM, E87, E90 및 기타 표준을 통합합니다.
- Cimetrix CIMControlFramework: 장비 자동화 시스템을 위한 완벽한 소프트웨어 프레임워크로, SEMI 표준과 원활하게 통합되도록 설계되었습니다.
- Cimetrix EquipmentConnect: SEMI GEM, GEM300 및 EDA/인터페이스 A 표준의 원활한 구현을 위해 설계된 강력한 소프트웨어 툴킷
공장 측
- 사피언스 데이터 플랫폼: SEMI 표준을 지원하는 호스트 측 솔루션으로, 효율적인 공장 호스트 운영을 가능하게 합니다.
- Cimetrix HostConnect: HSMS를 통한 SECS-II 메시징을 사용하여 호스트 애플리케이션을 생성하기 위한 향상된 소프트웨어 라이브러리.
- Cimetrix SECSConnect: SECS-I 또는 HSMS를 통해 SECS-II 메시징을 사용하는 애플리케이션 개발을 위한 라이브러리.
테스트
- Cimetrix 장비 테스트: SEMI 표준에 따른 장비 인터페이스 적합성을 검증하고 공장 호스트 시스템과의 통합을 간소화하도록 설계된 포괄적인 SECS/GEM 테스트 솔루션 .