SEMI E30 표준 개요SEMI E30 표준 개요
SEMI E30 표준(GEM, 제네릭 장비 모델)은 공장 기계가 생산을 관리하는 컴퓨터 시스템과 통신하는 방식을 규정합니다. 기계에 GEM 인터페이스가 장착되면 공장 컴퓨터 시스템이 해당 기계를 모니터링하고 데이터를 수집하며 원격으로 제어할 수 있습니다. GEM은 SEMI E5의 메시징 시스템을 사용하며 SEMI E37 또는 SEMI E4 통신 프로토콜을 통해 연결됩니다.
SEMI E30 표준의 목적
SEMI E30의 주요 목적은 스마트 팩토리 제조를 지원하기 위한 장비 통신 표준화입니다. GEM(Generic Equipment Model) 표준은 장비 동작을 정의하기 위한 구조화된 방법론을 제공하여 장비 운영자와 호스트 시스템 간의 원활한 협업을 가능하게 합니다.
SEMI E30은 SEMI E5 표준에서 정의된 메시지와 기능의 하위 집합을 참조하며, 그 적절한 사용법과 타이밍을 명확히 합니다.
SEMI E30의 기능은 다음과 같습니다:SEMI E30의 기능은 다음과 같습니다:
- 장비와 공장 호스트 소프트웨어 간에 안정적인 통신을 구축합니다.
- 호스트 시스템과 조작자 중 어느 쪽이 장비를 제어하는지 판단하기 위한 제어 상태를 정의합니다.
- 장비 상태, 센서 데이터 및 공정 정보를 호스트에 보고합니다.
- 주요 장비 활동에 관한 알림을 호스트 시스템에 전송하며, 여기에는 상세한 이벤트 정보가 포함됩니다.
- 호스트가 레시피를 다운로드하고 선택하여 장비에서 실행할 수 있도록 하여 레시피 관리를 지원합니다. 레시피 관리 기능을 지원하여 호스트가 장비를 통해 실행할 레시피를 다운로드하고 선택할 수 있도록 합니다.
SEMI E30의 주요 개념 및 특징SEMI E30의 핵심 개념 및 기능
SEMI E30은 스마트 팩토리 환경을 구현하기 위해 제조 장비와 호스트 시스템 간의 표준화된 통신을 가능하게 하고 그 기능을 정의하는 여러 필수 구성 요소를 포함합니다.
- 레시피 관리: 호스트 시스템이 골든 레시피 보호를 위한 업로드 및 다운로드를 포함하여 장비 레시피를 관리할 수 있도록 합니다. 이는 제조 공정에서 일관성과 재현성을 보장합니다.
- 장비 제어: 명확한 운영 경계를 설정하기 위해 로컬, 원격, 오프라인의 세 가지 제어 수준을 가진 상태 모델을 정의합니다. 장비는 GEM 인터페이스를 통해 다양한 원격 명령을 실행할 수 있습니다. 또한 GEM은 데이터 상관관계 및 분석을 향상시키기 위해 컴퓨터 시계 동기화를 지원합니다.
- 데이터 수집: 장비 소프트웨어 및 하드웨어와 관련된 소수에서 수천 개의 데이터 포인트 공개를 지원합니다. 호스트 시스템이 수집할 데이터와 보고 빈도를 결정하여 맞춤형 모니터링 및 분석이 가능합니다.
- 수집 이벤트 및 경보 알림: 호스트는 보고할 경보 및 수집 이벤트와 각 이벤트 메시지의 관련 데이터를 구성합니다. 장비는 광범위한 알림을 생성할 수 있어 운영 상태와 이상 현상을 상세하게 추적할 수 있습니다.
- 통신 프로토콜: 현대적 구현에서 표준인 TCP/IP 기반 고속 통신을 위해 HSMS(SEMI E37) 프로토콜을 사용합니다. 레거시 시스템은 직렬 통신을 위해 SECS-I(SEMI E4)를 사용할 수 있습니다. 모든 메시지는 SECS-II 및 HSMS/SECS-I에 의해 정의된 간결한 이진 형식으로 전송되어 효율적인 데이터 교환을 보장합니다.
- 자기 발견: GEM 인터페이스를 통해 호스트는 사용 가능한 수집 이벤트, 데이터 변수, 상태 변수, 장비 상수, 경보 및 지원되는 명령어를 포함한 구현 세부 사항을 장비에 쿼리할 수 있습니다. 이는 동적 통합 및 구성을 용이하게 합니다.
- 식별: GEM 인터페이스를 통해 장비 공급업체, 모델명 및 소프트웨어 개정판을 식별하는 메타데이터를 제공하여 추적성과 시스템 관리를 지원합니다.
- 시스템 신뢰성: 통신 중단 시 메시지 스풀링과 같은 기능을 포함하여 데이터 무결성과 운영 연속성을 보장합니다.
이러한 기능들은 함께 강력한 유연성을 갖춘 프레임워크를 형성하여 실시간 장비 모니터링, 공정 최적화, 예측 유지보수를 지원합니다. 이는 스마트 팩토리 추진의 핵심 요소들입니다.
SEMI E30 표준이 업계에 중요한 이유는 무엇인가요?
SEMI E30 표준은 반도체 제조, 태양광 발전, LED 생산 등 정밀성, 자동화, 상호운용성을 요구하는 첨단 제조 분야의 기초가 됩니다. 공장 장비 통신 프레임워크의 핵심으로서 SEMI E30은 장비 동작과 데이터 수집을 더욱 표준화하기 위해 GEM 300 시리즈를 비롯한 수십 개의 추가 SEMI 표준으로 확장되는 핵심 기능을 정의합니다.
- 장비 공급업체를 위한 GEM: GEM은 통합 노력을 크게 줄여주는 범용 통신 인터페이스를 제공합니다. 장비 제조업체는 모든 고객 사이트에 일관된 GEM 인터페이스를 배포할 수 있으며, 각 공장에서 데이터 수집을 구성하고 기능을 선택적으로 활성화할 수 있도록 허용합니다. 이 인터페이스는 확장 가능하여 하위 호환성을 저해하지 않고도 새로운 데이터 포인트와 기능을 추가할 수 있습니다.
- 반도체 제조사 및 공장용: GEM은 자동화된 데이터 수집, 향상된 공정 제어, 간소화된 장비 관리를 통해 운영 효율성을 높입니다. 공통 통신 표준을 사용하여 여러 공급업체의 장비를 원활하게 통합할 수 있게 합니다.
- 소프트웨어 공급업체를 위한: GEM은 제조 장비와의 광범위한 호환성을 보장하여 공장 자동화 및 제어 시스템의 개발과 배포를 간소화합니다.
- 산업 전반을 위한: GEM은 반도체 프런트엔드 생산 장비의 100%가 GEM 인터페이스를 지원하는 등 거의 보편적인 채택을 달성했습니다. 이러한 광범위한 구현은 GEM의 신뢰성과 효과성을 입증합니다. 상호운용성을 촉진하고 스마트 팩토리 이니셔티브를 가능하게 함으로써, GEM은 운영 비용 절감, 수율 향상, 시장 출시 기간 단축에 기여합니다.
PDF 솔루션 제품 SEMI E30 지원PDF 솔루션 제품 SEMI E30 지원
PDF Solutions는 SEMI E30의 이점을 구현하고 극대화하기 위해 특별히 설계된 여러 제품을 제공합니다:
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장비 측면
- Cimetrix CIMConnect: 장비 공급업체를 위한 SECS/GEM 인터페이스를 제공하여 공장 호스트와의 원활한 통신을 가능하게 합니다.
- Cimetrix CIM300: 300mm 팹을 위한 GEM300 표준 준수를 지원하며, GEM, E87, E90 및 기타 표준을 통합합니다.
- Cimetrix CIMControlFramework: 장비 자동화 시스템을 위한 완벽한 소프트웨어 프레임워크로, SEMI 표준과 원활하게 통합되도록 설계되었습니다.
- Cimetrix EquipmentConnect: SEMI GEM, GEM300 및 EDA/인터페이스 A 표준의 원활한 구현을 위해 설계된 강력한 소프트웨어 툴킷
공장 측
- 사피언스 데이터 플랫폼: SEMI 표준을 지원하는 호스트 측 솔루션으로, 효율적인 공장 호스트 운영을 가능하게 합니다.
- Cimetrix HostConnect: HSMS를 통한 SECS-II 메시징을 사용하여 호스트 애플리케이션을 생성하기 위한 향상된 소프트웨어 라이브러리.
- Cimetrix SECSConnect: SECS-I 또는 HSMS를 통해 SECS-II 메시징을 사용하는 애플리케이션 개발을 위한 라이브러리.
테스트테스트
- Cimetrix 장비 테스트: SEMI 표준에 따른 장비 인터페이스 적합성을 검증하고 공장 호스트 시스템과의 통합을 간소화하도록 설계된 포괄적인 SECS/GEM 테스트 솔루션 .
이러한 솔루션은 신뢰할 수 있는 통신, 모니터링 및 제어를 용이하게 하여 제조업체가 SEMI E30을 운영에 도입하고 구현하는 것을 더 쉽게 만듭니다.