SEMI E5 표준 개요 SEMI E5 표준 개요
SEMI E5 표준(SECS-II, SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용 사양으로도 알려짐)은 지능형 제조 장비와 호스트 시스템 간에 교환되는 메시지의 이진 구조, 해석 및 처리를 정의합니다. 기술적으로 장비는 SECS-II를 독립적으로 구현할 수 있지만, SECS-II 표준의 적절한 하위 집합과 명확한 사용 사례를 활용하는 GEM 또는 GEM 300 인터페이스를 구현하는 것이 훨씬 더 적합합니다. SEMI 표준 E192는 장비 공급업체가 SECS-II 기술을 기반으로 하는 수십 가지 표준 중 구현할 표준을 결정하는 데 지침을 제공합니다.
SEMI E5 표준의 목적
SEMI E5의 주요 목표는 다른 표준에서 사용하는 핵심 기술을 정의하고 제조 장비와 호스트 시스템 간의 통신을 간소화하는 것입니다. 이는 특정 장비에 대한 최소한의 맞춤화만으로 호스트용 소프트웨어 개발을 일관되게 가능하게 하여 장비의 공장 통합을 단순화합니다. 본 표준은 SEMI E4(SECS=I) 및 SEMI E37(HSMS) 프로토콜 표준과 호환되는 범용 이진 메시지 통신 계층을 정의합니다. 마지막으로, 본 표준은 공장 내 가장 일반적인 활동을 포함하는 표준 메시지를 정의하여 맞춤형 메시지의 필요성을 최소화하거나 제거합니다.
SEMI E5의 주요 개념 및 기능 SEMI E5의 핵심 개념 및 기능
- 메시지 구성: 메시지는 명확성과 기능성을 보장하기 위해 "스트림"(활동 범주)과 "기능"(특정 작업)으로 그룹화됩니다. 각 메시지 정의는 'S1F13'과 같이 스트림 번호와 기능 번호의 조합으로 식별됩니다.
- 데이터 구조: SECS-II는 메시지를 구성하기 위해 "항목"과 "항목 목록"을 사용하는 이진 자기 설명 데이터 형식을 채택합니다. 메시지 내의 요소는 정수, 부동 소수점, 이진 또는 부울과 같은 일반적인 데이터 유형일 수도 있고, 배열, 문자열 또는 구조체와 같은 더 복잡한 형태일 수도 있습니다. SECS-II의 데이터 항목 사전 테이블은 모든 표준 메시지의 요소를 정의합니다. 변수 사전 테이블은 장비가 SECS-II 인터페이스를 통해 제공할 수 있는 특정 데이터를 정의하며, 이 중 일부는 SEMI E30(GEM)과 같은 다른 표준에서 참조됩니다.
- 거래 및 대화 프로토콜: 규칙은 모든 가능한 대화 유형에 대한 메시지 교환을 정의합니다. 타임아웃은 특정 활동의 지속 시간이 너무 길어질 때의 동작을 정의합니다.
- 메시지 상세 정보: 이 표준은 호스트 및 장비가 전송할 수 있는 기본 메시지와 응답 메시지를 포함한 방대한 표준 메시지 라이브러리를 정의합니다. SEMI E30(GEM) 및 SEMI E40(GEM 300 표준)과 같은 다른 표준들은 이 라이브러리의 특정 메시지에 대한 사용 사례와 시나리오를 설명합니다. 호스트와 장비는 사용자 정의 메시지를 구현할 수 있지만, 대부분의 상황에서는 GEM 및 기타 표준에서 참조하는 표준 메시지만 사용해야 합니다.
- 측정 단위: 장비에서 발행하는 일반적인 데이터의 공통 단위를 문서화하기 위한 표준화된 텍스트.
SEMI E5 표준의 산업적 중요성 산업에 있어서 SEMI E5 표준의 중요성
SEMI E5 표준은 반도체 산업의 효율성, 상호운용성 및 기술 발전을 주도하는 데 핵심적 역할을 합니다. 주요 이점은 다음과 같습니다:
- 장비 공급업체를 위한: 장비 공급업체가 모든 공장에 동일한 솔루션을 제공할 수 있도록 하는 SECS/GEM 또는 GEM 300 인터페이스 구현을 위한 핵심 소프트웨어 기술을 정의합니다. : SECS/GEM 또는 GEM 300 인터페이스를 구현하기 위한 핵심 소프트웨어 기술을 정의하여 장비 공급업체가 모든 공장에 동일한 솔루션을 제공할 수 있도록 합니다.
- 공장을 위한: 공장 소프트웨어가 동일한 핵심 소프트웨어 기술을 사용하여 서로 다른 공급업체의 장비와 통신할 수 있도록 함으로써 장비 통합을 개선하고, 자동화, 공정 모니터링 및 생산 추적을 가능하게 합니다. : 공장 소프트웨어가 동일한 핵심 소프트웨어 기술을 사용하여 서로 다른 공급업체의 장비와 통신할 수 있도록 함으로써 장비 통합을 개선하고 자동화, 공정 모니터링 및 생산 추적을 가
- 소프트웨어 공급업체를 위한: 공장에서 장비를 제어하고 장비로부터 정보를 수집하기 위한 유연한 통신 소프트웨어 개발을 용이하게 합니다.
SEMI E5는 자동화 시스템 간 원활한 통신을 가능하게 함으로써 운영 효율성을 높이고 운영 비용을 절감하며 제조 분야의 혁신을 지원합니다.
SEMI E5를 지원하는 PDF 솔루션 제품 PDF 솔루션 SEMI E5 지원 제품
PDF Solutions는 장비-호스트 통신을 위한 개발 및 통합 도구를 포함하여 SEMI E5 표준 구현을 지원하는 포괄적인 솔루션을 제공합니다.
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장비 측면
- Cimetrix CIMConnect: 장비 공급업체를 위한 SECS/GEM 인터페이스를 제공하여 공장 호스트와의 원활한 통신을 가능하게 합니다.
- Cimetrix CIM300: 300mm 팹을 위한 GEM300 표준 준수를 지원하며, GEM, E87, E90 및 기타 표준을 통합합니다.
- Cimetrix CIMControlFramework: 장비 자동화 시스템을 위한 완벽한 소프트웨어 프레임워크로, SEMI 표준과 원활하게 통합되도록 설계되었습니다.
- Cimetrix EquipmentConnect: SEMI GEM, GEM300 및 EDA/인터페이스 A 표준의 원활한 구현을 위해 설계된 강력한 소프트웨어 툴킷
공장 측
- 사피언스 데이터 플랫폼: SEMI 표준을 지원하는 호스트 측 솔루션으로, 효율적인 공장 호스트 운영을 가능하게 합니다.
- Cimetrix HostConnect: HSMS를 통한 SECS-II 메시징을 사용하여 호스트 애플리케이션을 생성하기 위한 향상된 소프트웨어 라이브러리.
- Cimetrix SECSConnect: SECS-I 또는 HSMS를 통해 SECS-II 메시징을 사용하는 애플리케이션 개발을 위한 라이브러리.
테스트테스트
- Cimetrix 장비 테스트: SEMI 표준에 따른 장비 인터페이스 적합성을 검증하고 공장 호스트 시스템과의 통합을 간소화하도록 설계된 포괄적인 SECS/GEM 테스트 솔루션 .
이 제품들은 장비 공급업체 및 제조업체가 SEMI E5 표준과의 원활한 통합 및 준수를 보장하여 제조 효율성을 향상시킬 수 있도록 지원합니다. SEMI E5 표준은 자동화된 반도체 제조 분야의 통신 기반을 마련하여 효율성을 높이고 비용을 절감하며 복잡한 시스템의 원활한 통합을 가능하게 합니다. 이 표준을 채택하고 혁신적인 Cimetrix 제품을 활용함으로써 귀사는 운영 우수성과 경쟁 우위를 확보하는 전략적 입지를 구축할 수 있습니다.이러한 제품들은 장비 공급업체 및 제조업체가 SEMI E5 표준과의 원활한 통합 및 준수를 보장하여 제조 효율성을 높일 수 있도록 지원합니다. SEMI E5 표준은 자동화된 반도체