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eProbeアップデート – DirectScan：技術、応用、導入状況 – ダウンロード
eProbe DirectScanは、3Dプロセス統合と複雑なフロントエンド・オブ・ライン（FEOL）構造が光学能力を超える電気的分解能を必要とする次世代半導体微細化の課題に対応します。 eProbe PointScan、FIRE、Exensioを統合したDirectScanは、疎な検査において従来の一重ビーム装置より20～100倍高速な包括的な電圧コントラスト検査ソリューションを提供します。この技術により設計認識型検査と製品ベースの学習が可能となり、先進ロジックおよびDRAMノードにおける系統的な欠陥やレイアウト上の弱点を迅速に特定できます。
PointScanが裏面電力供給ネットワーク（BSPDN）アプリケーションにおけるウエハー帯電を最小化し、ストレージノードのショート検出向けに制御された「充電と検知」手法を実現する方法を、プレゼンテーション全文をダウンロードしてご確認ください。
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