要旨：インラインセンサーからのFDCデータは、多変量モデリングを用いてPCM変動をより効果的に制御するために活用できる。しかし、個々のプロセス装置には数百のセンサーが搭載され、生産ライン全体のセンサー総数は数万以上に及ぶため、どのFDCセンサーがPCM変動に最も寄与しているかを特定することは困難であった。本論文では、集中型FDCデータ管理システムを用いた65nm量産ラインにおける多変量モデリングによるPCM変動制御を実証する。
キーワード：予測学習、FDC、収量モデリング、仮想計測
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