배경
SEMI 북미 정보 및 제어 위원회는 연 3회 회의를 개최하나, 올해부터 SEMICON West가 2년마다 피닉스로 장소를 변경함에 따라 일정이 변경되었습니다. SEMI는 6월 2일부터 4일까지 캘리포니아 밀피타스에 위치한 SEMI 본사에서 북미 여름 회의를 개최했습니다. 평소와 마찬가지로 회의는 하이브리드 방식으로 진행되어 참석자들은 현장 또는 원격으로 참여할 수 있습니다. 첫 이틀은 GEM 300, ABFI(Advanced Backend Factory Integration), GUI, CDS(Fab & Equipment Computer & Device Security), DDA(Diagnostics Data Acquisition) 태스크포스 및 Cimetrix 태스크포스 리더들과의 태스크포스 회의로 진행되었습니다. 셋째 날은 위원회 회의로, (일반적으로) 태스크포스 권고안을 바탕으로 최종 결정이 이루어집니다. 다음은 일부 태스크포스 및 위원회 회의에서 논의된 내용의 요약입니다.
위원회에서 통과된 모든 투표안은 여전히 글로벌 SEMI 감사 및 검토 위원회의 최종 심사를 받아야 하며, 이 과정에서 SEMI 절차 및 규정을 엄격히 준수하지 않을 경우 기술적으로 투표안이 부결될 수 있습니다. 이는 북미 정보 및 통제 위원회에서는 드문 일이지만 발생할 수 있으며 실제로 발생한 사례가 있습니다.
SNARF는 표준 신규 활동 보고서 양식입니다. 태스크 포스가 신규 표준 제정 또는 기존 표준 개정을 제안하는 투표안을 제출하기 전에, 해당 작업에 대한 SNARF는 기술 위원회의 승인을 받아야 합니다.
참고로 SEMI는 전 세계 위원회 정보를 모두 게재한 웹사이트를 운영하며, 누구나 상세한 내용을 열람할 수 있습니다. 해당 웹사이트 주소는 다음과 같습니다: https://www.semi.org/en/products-services/standards/developing-technical-standards.
리더십 변경
이번 회의에서 여러 리더십 변경 사항이 승인되었습니다. 지난 몇 년간 브라이언 루보우는 SEMI 북미(NA) RSC 조직의 부의장을 역임해 왔습니다. NARSC 회의에서 브라이언은 공동 의장으로 지명되었습니다. 앨런 웨버는 장비 데이터 공개 태스크포스의 공동 리더 및 팹·장비 컴퓨터·장치 보안 태스크포스의 공동 리더로 지명되었습니다.
GEM 300 태스크포스
회의 몇 주 전, 브라이언은 GEM 300 태스크포스 구성원들에게 검토를 위해 SNARF를 제출했습니다. 이 SNARF는 gRPC 기술과 TLS를 활용한 안전한 GEM 인터페이스 통신을 가능하게 하는 새로운 표준 개발을 제안합니다. 이 새로운 표준은 현재 사용 중인 SECS-I 및 HSMS 프로토콜의 대안이 될 것입니다. 현재 사용 중인 두 프로토콜 모두 안전하지 않아 사이버 보안 위험을 초래합니다. 제안된 SNARF에 대한 피드백은 안전한 GEM 프로토콜이 필요하다는 점에 대한 명확한 동의를 나타냅니다. 그러나 보안을 달성하는 방법은 여전히 논의 중입니다. 태스크포스 구성원들이 제안한 gRPC 대안으로는 HTTP/2, 웹소켓(WebSockets), 안전한 TCP/IP 통신 등이 있습니다. 태스크포스 회의에서 이 문제를 일부 논의했으며, 기술적 해결책이 선정될 때까지 대안을 논의하고 토론하기 위해 정기적으로 회의를 시작할 계획입니다. 또한 기술적 방향이 결정될 때까지 이 작업에 대한 SNARF 승인을 연기하기로 결정했습니다. 보안 프로토콜의 추가는 GEM 표준에 대한 큰 개선이 될 것입니다. 이 주제에 관심이 있는 분은 북미 GEM 300 태스크포스에 참여하시기 바랍니다.
작업반은 E30(GEM), E40(프로세스 작업 관리), E87(캐리어 관리), E90(기판 추적) 등 네 가지 표준의 기존 구현 방식을 수정하기 위한 투표안 작업을 승인했습니다. GEM에서는 처리 상태 모델 수집 이벤트에 대한 명명 규칙을 명확히 하고자 합니다. 각 장비가 자체 운영에 맞게 고유한 처리 상태 모델을 구현할 수 있으므로, 처리 상태 모델 수집 이벤트의 수와 명칭은 다양합니다. 각 투표안은 비교적 소규모로 예상됩니다.
태스크 포스는 배치 처리와 관련된 E90(기판 추적) 표준에 대한 또 다른 투표안(7345)도 작업 중입니다. 현재 E90 표준은 배치 조립 및 해체 시 보고 방법을 명확히 규정하지 못하고 있습니다. 배치 위치 상태 모델은 '점유(OCCUPIED)' 및 '비점유(UNOCCUPIED)' 상태와 상태 전환 테이블 간 모순을 내포하고 있습니다. 본 투표안은 이러한 모순을 해결하고 배치 조립 및 해체에 대한 추가 수집 이벤트를 제안합니다. 이 투표안은 태스크포스 구성원의 검토를 기다리고 있으며, 다음 투표 주기에 제출될 예정입니다.
진단 데이터 수집(DDA) 태스크포스
DDA 태스크포스는 EDA(장비 데이터 수집/인터페이스 A) 프리즈 3 표준을 확정하기 위해 노력하는 동안 매우 활발히 활동하고 있습니다. 모든 활동은 이 목표에 집중되어 있습니다.
투표안 7321A는 핵심 EDA 표준인 E120/E120.2, E125/E125.2, E132/E132.2, E134/E134.2 및 E179에 대한 변경을 제안합니다. 본 투표안은 해당 핵심 표준에 대한 프리즈 3(Freeze 3)의 최종 투표안이 될 예정입니다. 이 투표안은 GetParameters, GetExceptions, GetSimpleEvents 호출 시 클라이언트가 장비 메타데이터의 하위 집합을 요청할 수 있도록 E125 메타데이터 필터링 기능을 새롭게 도입합니다. 기타 제안된 변경 사항은 태스크포스 구성원들이 제기한 문제점을 반영한 것입니다. 해당 문제점은 지난 벤더 테스트 세션 중 또는 이후 소프트웨어 개발팀이 EDA 프리즈 3 소프트웨어를 구현하는 과정에서 제기되었습니다. 투표안의 두 항목 모두 부결되었으며, 사이클 7에서 재투표될 예정이며 10월 SEMICON West에서 심의될 것입니다. 이번 투표 부결을 통해 투표안 7321B에서 보고된 문제점과 투표안 7321A 제출 이후 추가로 보고된 몇 가지 문제점을 해결할 수 있게 되었습니다.
EDA Freeze 3의 마지막 구성 요소는 E164 표준(EDA 공통 메타데이터 사양)의 업데이트입니다. 이 투표 역시 부결되었으며, 다음 투표 주기를 위해 재검토될 예정입니다.
이 투표안(7321 및 7180)이 SEMI에 의해 승인 및 공개되면, EDA 프리즈 3이 완료될 것으로 예상됩니다. 이후 표준 E178(EDA 프리즈 버전 가이드)을 수정하여 EDA 프리즈 3 버전을 공식적으로 선언할 예정입니다.
이 작업 외에도 DDA 태스크포스는 E164의 하위 표준 작업도 진행 중입니다. 각 하위 표준은 하나의 GEM 기반 표준에 대한 EDA 메타데이터를 표준화하며, 해당 표준을 EDA 인터페이스에서 구현하는 방식을 규정합니다. E40(프로세스 작업 관리) 하위 표준은 태스크포스 검토를 거의 마칠 단계입니다. 이 작업은 EDA 프리즈 3의 범위를 벗어나며, 해당 표준을 구현할 때만 적용되지만 여전히 EDA 프리즈 3과 직접적으로 관련됩니다. 이는 잔여 작업의 대부분을 구성합니다.
ABFI(고급 백엔드 팩토리 통합) 태스크 포스
ABFI 작업은 승인된 SNARF가 E142에서 일부 편집 변경 사항을 해결하고 하위 표준 E142.4에 잘 알려진 항목들을 추가하도록 작업하도록 승인했습니다.
태스크포스는 최근 발간된 GEM 및 GEM 관련 표준을 위한 장비 채택 기준 가이드(E192)를 업데이트하기 위한 투표안 작업도 진행 중입니다. 해당 가이드 발간 이후, 새로운 사이버 보안 표준 E191과 장비 데이터 공개 표준 E190을 포함해 GEM 관련 신규 표준 두 건이 추가로 발표되었습니다. 이 투표안은 태스크포스에 검토를 위해 제출되었으며, 다음 투표 주기에 SEMI에 제출될 예정입니다.
CDS(제조 및 장비 컴퓨터·기기 보안) 태스크포스
SEMI 표준 E191 '컴퓨팅 장치 사이버 보안 상태 보고 사양'은 1년도 채 되지 않아 발표되었습니다. 현재 버전은 GEM 인터페이스를 통해 장비의 공장 연결 컴퓨터에 대한 운영 체제 정보를 식별하는 두 가지 상태 변수를 게시하도록 요구합니다. 하나는 컴퓨터를 식별하고, 다른 하나는 운영 체제 제조업체, 이름, 버전 및 빌드 정보를 식별합니다. 이는 공장이 공장 내 사이버 보안 위험을 식별하고 업그레이드를 요청하는 데 도움이 됩니다. 투표안 7311A는 추가 정보 공개를 통해 E191 표준을 강화하고 두 가지 상태 변수를 추가하는 것을 제안했습니다. 하나는 설치된 업데이트 목록을 식별하고, 다른 하나는 설치된 운영체제 구성 요소를 식별합니다. 이 투표안은 통과되었으며, 현재 공개 전 감사 및 검토 위원회의 심사를 기다리고 있습니다.
다음 단계
북미 정보 및 통제 위원회는 다음 투표 라운드에 SEMI 투표 사이클 7을 적용할 예정입니다. 투표용지는 2025년 7월 24일 목요일까지 SEMI에 제출되어야 합니다. 해당 투표용지는 10월 6일부터 8일까지 피닉스 컨벤션 센터에서 개최되는 SEMICON West에서 심사될 예정입니다.