背景
SEMI北美信息与控制委员会每年召开三次会议,但今年因SEMICON West展会自今年起每两年一次移师凤凰城,会议日程有所调整。今年夏季会议于6月2日至4日在加州米尔皮塔斯的SEMI总部举行。与往年相同,会议采用混合模式,与会者可现场或远程参与。 前两天为专项小组会议,包括GEM 300、ABFI(先进后端工厂集成)、GUI、CDS(工厂与设备计算机及设备安全)及DDA(诊断数据采集)小组会议,由Cimetrix小组负责人主持。 第三天为委员会会议,通常根据工作组建议作出最终决议。以下是部分工作组及委员会会议的要点摘要。
请注意,所有在委员会通过的投票仍需接受全球SEMI审核与审查委员会的最终审核。若未严格遵循正确的SEMI程序和规定,投票在技术上仍可能被否决。这种情况在北美信息与控制委员会中虽属罕见,但确实可能发生且已有先例。
SNARF 即标准新 活动 报告表。在工作组提交提案新标准或修改现有标准的投票表决前,该项工作的SNARF必须获得技术委员会批准。
请注意,SEMI运营着一个网站,其中包含所有全球委员会的详细信息,任何人都可查阅这些详尽资料。该网站地址为:https://www.semi.org/en/products-services/standards/developing-technical-standards。
领导层变动
在这些会议期间,若干领导层变动获得批准。过去数年间,布莱恩·鲁博一直担任SEMI北美地区(NA)RSC组织的副主席。在北美RSC会议上,布莱恩被提名为联合主席。艾伦·韦伯被提名为设备数据发布工作组的联合负责人,同时兼任晶圆厂与设备计算机及设备安全工作组的联合负责人。
GEM 300 特别工作组
在会议召开数周前,布莱恩向GEM 300工作组成员提交了一份SNARF提案供审议。该提案建议开发一项新标准,利用gRPC技术和TLS实现安全的GEM接口通信。新标准将替代当前使用的SECS-I和HSMS协议。现有协议均存在安全隐患,构成网络安全风险。 针对该提案的反馈明确表明,业界亟需安全GEM协议。但实现安全性的具体手段仍存争议。工作组成员提出的替代方案包括HTTP/2、WebSockets及安全TCP/IP通信。 我们在工作组会议上对此进行了初步讨论,计划定期召开会议探讨替代方案直至选定技术方案。同时决定在确定技术方向前暂缓批准任何相关SNARF提案。安全协议的引入将是GEM标准的重要升级。对此议题感兴趣者欢迎加入北美GEM 300工作组。
工作组批准了修改四项标准中已知实现方案的提案,涉及E30(GEM)、E40(工艺作业管理)、E87(载体管理)和E90(基板追踪)标准。 在GEM标准中,我们希望明确处理状态模型采集事件的通用命名规范。由于每台设备可根据自身运行特性实现独特的处理状态模型,其采集事件的数量与名称存在差异。预计每项修订提案的范围均较为有限。
该工作组还正在就批量处理相关的E90(基板追踪)标准制定另一份投票提案(7345)。现行E90标准未明确规定批次装配与拆卸时的报告方式。批次位置状态模型中,"占用"(OCCUPIED)与"未占用"(UNOCCUPIED)状态及其转换表存在矛盾。 该提案旨在解决上述矛盾,并为批次装配与拆卸新增数据采集事件。此提案现已提交工作组成员审阅,将于下个投票周期进入表决程序。
诊断数据采集(DDA)工作组
DDA工作组在努力完成EDA(设备数据采集/接口A)冻结3标准制定工作的同时,仍保持着高度活跃状态。所有活动均围绕这一目标展开。
提案7321A建议对核心EDA标准E120/E120.2、E125/E125.2、E132/E132.2、E134/E134.2及E179进行修订。本次投票旨在成为这些核心标准第三次冻结阶段的最终投票。 新增一项功能:过滤E125元数据,使客户端在调用GetParameters、GetExceptions和GetSimpleEvents时可请求设备元数据子集。其余拟议变更反映了工作组成员提出的问题,这些问题或源于上次供应商测试环节,或在软件开发团队实施EDA冻结3版软件过程中浮现。 本次投票中的两项提案均未通过,将在第7轮投票中重新修订,并于10月SEMICON West展会期间进行裁决。通过此次投票失败,我们既能解决7321B投票中报告的问题,也能处理自7321A投票提交后新增的若干问题。
EDA Freeze 3的最后一项内容是对E164标准(EDA通用元数据规范)的更新。该提案同样未获通过,将在下个投票周期重新修订。
当这些投票(7321和7180)经SEMI批准并公布后,我们预计EDA冻结3阶段将完成。随后我们将修订标准E178(EDA冻结版本指南),正式宣告EDA冻结3版本。
除上述工作外,DDA工作组还正在制定E164的子标准。每个子标准将针对某项基于GEM的标准规范其EDA元数据,统一该标准在EDA接口中的实现方式。 E40(流程作业管理)的子标准已接近完成,即将提交工作组审议。该工作虽不属于EDA冻结3阶段的范畴——仅在实施相应标准时适用——但仍与之直接相关。这构成了当前剩余工作的主要部分。
ABFI(高级后端工厂集成)工作组
ABFI任务批准了SNARF对E142标准进行修订,以解决若干编辑性变更,并向子标准E142.4添加公认条款。
该工作组还正在制定一项投票提案,旨在更新近期发布的《GEM及相关标准设备采用准则指南》(E192)。自该指南发布以来,已有两项与GEM相关的新标准问世,包括新的网络安全标准E191和新的设备数据发布标准E190。该投票提案已提交工作组审议,并将提交至SEMI进行下一轮投票。
CDS(工厂与设备计算机及设备安全)工作组
SEMI标准E191《计算设备网络安全状态报告规范》发布至今不足一年。现行版本要求通过GEM接口发布两项状态变量,用于识别设备面向工厂端计算机的操作系统信息:一项用于标识计算机,另一项用于标识操作系统制造商、名称、版本及构建信息。此举有助于工厂识别内部网络安全风险并申请系统升级。 提案7311A旨在通过发布额外信息增强E191标准,引入两个新增状态变量:其一用于标识已安装更新列表,其二用于标识已安装的操作系统组件。该提案已获通过,目前正等待审计与审查委员会审核后正式发布。
下一步行动
北美信息与控制委员会将采用SEMI投票周期7进行下一轮投票。投票表决单须于2025年7月24日(星期四)前提交至SEMI。本次投票结果将于10月6日至8日在凤凰城会议中心举行的SEMICON West展会上进行裁定。