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서론
SECS/GEM 표준은 모든 장비에서 사용할 수 있는 표준화된 인터페이스를 정의합니다. GEM 인터페이스는 상태 변수, 데이터 변수, 수집 이벤트, 경보, 데이터 형식, 오류 코드, SECS-II 메시지 및 기타 선택적 GEM 기능을 통해 장비의 성능을 노출합니다. GEM 표준은 각 장비에 문서가 함께 제공되도록 요구하여, 공장이 장비의 GEM 인터페이스를 사용하기 위해 필요한 정보를 확보할 수 있도록 합니다. 이 문서는 일반적으로 GEM 매뉴얼이라고 불립니다.
GEM 매뉴얼은 다양한 방식으로 배포될 수 있습니다. 현재 대부분의 GEM 매뉴얼은 Word, Excel 또는 PDF 문서 형태로 디지털 방식으로 제공됩니다. GEM 매뉴얼에 포함된 방대한 정보는 구매 결정, 호스트 소프트웨어 개발 및 장비 테스트에 활용됩니다. 완전한 GEM 인터페이스를 위해 GEM 매뉴얼에는 다음 항목이 반드시 포함되어야 합니다: 상태 모델, 시나리오, 데이터 수집, 경보 관리, 원격 제어, 장비 상수, 공정 레시피 관리, 자재 이동, 터미널 서비스, 오류 메시지, 시계, 스풀링, 제어, 지원되는 SECS-II 메시지, GEM 준수 선언문, 데이터 항목 형식. 본 게시물의 분량을 적정하게 유지하기 위해 필수 항목 중 일부만 다루겠습니다.
GEM 규정 준수 성명서
준수 선언문은 검토해야 할 첫 번째 주제 중 하나입니다. 이는 장비 인터페이스의 기능을 빠르고 쉽게 이해할 수 있는 방법입니다. 제조업체는 해당 장비에 구현된 GEM 기능과, 해당 기능이 GEM 표준을 준수하는 방식으로 구현되었는지 여부를 표시해야 합니다.
상태 모델
상태 모델은 GEM의 기본 기능이므로 모든 장비에 구현됩니다. 이 기능은 장비의 통신, 제어 및 스풀링 동작을 정의합니다. 처리 상태 모델을 반드시 제공해야 합니다. 그러나 모든 장비에서 사용 가능한 처리 상태 머신을 정의하는 것은 불가능합니다. 모든 장비에서 동일해야 하는 처리 동작은 표준에 의해 지정됩니다. 각 상태 모델은 상태 모델 다이어그램, 상태 전환표, 그리고 모든 상태에 대한 텍스트 설명으로 문서화되어야 합니다. 각 상태 모델에 대한 일관되고 상세한 정보는 제조사가 GEM 매뉴얼을 확보하는 즉시 호스트 애플리케이션 작성을 시작할 수 있도록 합니다.
경보, 수집 이벤트, 장비 상수, 데이터 변수, 상태 변수
경보, 수집 이벤트 및 변수는 장비에서 데이터를 수집하는 데 있어 주요 구성 요소입니다. 이러한 항목들이 GEM 매뉴얼에 포함되어야 한다는 것은 당연한 일입니다. 장비의 각 경보는 GEM 매뉴얼에 고유 ID, 이름, 설명 및 관련 설정/해제 이벤트를 포함해야 합니다. 각 수집 이벤트에 대한 문서에는 ID, 이름, 설명 및 관련 변수 목록이 포함되어야 합니다. 모든 변수에 대한 문서에는 ID, 이름, 설명 및 데이터 유형이 포함됩니다. 적절한 경우 변수의 기본값 또는 값 범위에 대한 정보도 제공해야 합니다. 필수 사항은 아니지만, 이 모든 정보를 쉽게 찾을 수 있는 다섯 개의 테이블로 표시하는 것이 일반적입니다. 다음 항목 각각에 대해 하나의 테이블이 마련됩니다: 경보, 수집 이벤트, 장비 상수, 데이터 변수, 상태 변수. 아래 예시를 참조하십시오.
경보
수집 행사
상태 변수
리모컨
공장에서 장비 데이터를 수집할 수 있게 되면, 장비 제어 방법을 모색하기 시작합니다. 원격 제어는 호스트 애플리케이션이 장비에 작업 수행을 요청할 수 있게 하는 GEM 기능입니다. 각 원격 명령은 매뉴얼에 명시되어야 하며, 명령명, 설명, 그리고 명령과 함께 전송될 수 있는 각 명령 매개변수에 대한 세부 정보가 포함되어야 합니다. 명령 매개변수의 세부 정보에는 이름, 형식, 설명이 포함되어야 합니다. 예시는 아래와 같습니다.
SMN 및 SEDD
GEM 매뉴얼은 소프트웨어에서 파싱하기 쉬운 형식으로 제공되는 경우가 드뭅니다. 이로 인해 다른 장비와 통신하기 위해 코드를 중복 작성하거나 사소한 변경을 가해야 하는 경우가 많습니다. SEMI E172 SECS 장비 데이터 사전(SEDD)과 E173 SECS 메시지 표기법(SMN)은 호스트 애플리케이션의 유연성과 재사용성을 획기적으로 높일 수 있는 두 가지 표준입니다. SEDD는 소프트웨어에서 쉽게 배포 및 파싱할 수 있는 XML 파일입니다. SEDD는 GEM 매뉴얼과 동일한 정보를 대부분 포함하고 있으므로 현대화된 GEM 매뉴얼로 볼 수 있습니다. 예를 들어, SEDD 파일에는 모든 변수, 수집 이벤트, 알람 및 지원되는 SECS-II 메시지에 대한 세부 정보가 포함됩니다. SEDD 파일은 데이터 항목, 변수 및 SECS-II 메시지를 표현하기 위해 SMN을 사용합니다. SMN 역시 XML 기반이며, 데이터 항목과 SECS-II 메시지를 표현하기 위한 표기법을 정의한 최초의 표준입니다. 이는 단일 애플리케이션이 SEDD 파일을 읽고 간단한 구성 과정을 거친 후 즉시 장비의 GEM 인터페이스를 사용하기 시작할 수 있음을 의미합니다. 이러한 기능 덕분에 각 장비마다 약간씩 다른 변형을 생성하는 대신 단일 애플리케이션으로 여러 장비를 사용할 수 있습니다.
결론
GEM 매뉴얼은 GEM 표준에 따라 모든 장비와 함께 제공되어야 하는 필수 문서입니다. 장비의 GEM 인터페이스에 관한 질문이 있을 경우 GEM 매뉴얼을 가장 먼저 참조해야 합니다. SEMI는 기존 표준을 업데이트하고 새로운 표준을 제정함으로써 GEM 매뉴얼의 내용과 유연성을 지속적으로 개선하고 있습니다.