SEMI E172 표준 개요 SEMI E172 표준 개요
SEMI E172 표준인 "SECS 장비 데이터 사전(SEDD) 사양"은 장비의 GEM(SEMI E30) 인터페이스를 인간과 컴퓨터 모두 읽을 수 있는 방식으로 문서화하는 접근법을 표준화합니다. 장비와 공장 소프트웨어 시스템 간의 통신 효율성을 높이기 위해 도입된 SEDD는 XML을 사용하여 생산 장비용 SECS-II(SEMI E5) 인터페이스의 핵심 요소를 설명하는 데이터 세트의 형식과 내용을 정의합니다. 이 표준은 기존 인터페이스 문서를 대체하기보다는 보완하는 역할을 합니다.
SEMI E172 표준의 목적
SEMI E172 표준의 주요 목표는 제조 장비와 공장 제어 시스템 간의 통합 및 통신을 단순화하고 개선하는 것입니다. GEM 인터페이스 요소에 대한 통합 형식을 마련함으로써, 이 사양은 장비 공급업체가 포괄적이고 정확하며 일관된 문서를 제공할 수 있도록 합니다. 공장은 SEDD 파일을 읽을 수 있는 소프트웨어를 작성할 수 있으므로, 특정 GEM 인터페이스에 자동으로 구성되고 적응하는 지능형 호스트 애플리케이션을 생성할 수 있습니다. 궁극적으로 이는 자동화 시스템의 신속한 배포로 이어집니다.
SEMI E172의 주요 개념 및 특징 SEMI E172의 핵심 개념 및 기능
- 구조화된 데이터셋: 수집 이벤트, 데이터 변수, 경보, 장비 상수, 레시피 변수 매개변수 등의 요소를 일관된 형식으로 구성하는 공통 XML 스키마를 제공합니다. :
- 인간과 기계의 가독성: 문서가 소프트웨어 시스템과 인간 이해관계자 모두에게 접근 가능하도록 보장하여 원활한 통합과 이해를 촉진합니다.
- SEDD (SECS 장비 데이터 사전): SECS-II 인터페이스 데이터를 통합 및 애플리케이션 소프트웨어 개발자가 활용 가능한 방식으로 정확하게 문서화할 수 있도록 합니다. : SECS-II 인터페이스 데이터를 통합 및 응용 소프트웨어 개발자가 활용 가능한 방식으로 정확하게 문서화할 수 있도록 합니다.
- XML 호환성: 널리 지원되는 XML 도구를 사용하여 데이터 파일을 생성, 검증, 읽기 및 변환할 수 있도록 하여 사용 편의성을 높입니다.
산업에 있어서 SEMI E172의 중요성 SEMI E172의 산업적 중요성
SEMI E172 표준은 장비 공급업체부터 소프트웨어 개발자 및 반도체 제조사에 이르기까지 반도체 제조 분야 전반에 걸쳐 상당한 가치를 제공합니다.
- 장비 공급업체를 위한: SECS-II 및 GEM 인터페이스 요구사항 준수를 간소화하고 인터페이스 문서 작성에 소요되는 시간을 획기적으로 단축합니다. : SECS-II 및 GEM 인터페이스 요구사항 준수를 간소화하고 인터페이스 문서 작성에 소요되는 시간을 획기적으로 단축합니다.
- 반도체 제조사용: 신규 장비를 공장에 통합하는 명확하고 표준화된 방식을 제공하여 통합 및 승인 시간을 단축하고 생산 가동 시간을 증가시킵니다. :
- 소프트웨어 개발자를 위한: 상세한 데이터 프레임워크를 제공하여 공장 소프트웨어 인터페이스의 개발을 가속화합니다.
- 제조업용: 시스템과 장비 간 견고하고 자동화된 통신을 촉진하여 운영 효율성을 높이며, 이는 스마트 제조 이니셔티브에 필수적입니다.
PDF 솔루션 제품 SEMI E172 지원 PDF 솔루션 제품 SEMI E172 지원
PDF Solutions는 반도체 제조 공정 내에서 SEMI E172 표준을 지원하고 구현하기 위한 일련의 도구를 제공합니다. 주요 솔루션은 다음과 같습니다:
- Cimetrix CIMConnect: 장비 공급업체를 위한 SECS/GEM 인터페이스를 제공하여 공장 호스트와의 원활한 통신을 가능하게 합니다.
- Cimetrix CIM300: 300mm 팹을 위한 GEM300 표준 준수를 지원하며, GEM, E87, E90 및 기타 표준을 통합합니다.
이러한 솔루션은 제조업체가 자동화 프로세스의 어느 단계에서든 원활한 통합과 규정 준수를 보장합니다.