SEMI E172标准简介
SEMI E172标准《SECS设备数据字典规范（SEDD）》通过标准化方法，以人类可读与计算机可读的双重形式记录设备GEM（SEMI E30）接口。 为提升设备与工厂软件系统的通信效率，SEDD采用XML定义数据集的格式与内容，这些数据集描述了生产设备SECS-II（SEMI E5）接口的关键要素。该标准是对传统接口文档的补充而非替代。
SEMI E172标准的目的
SEMI E172标准的核心目标在于简化并优化制造设备与工厂控制系统之间的集成与通信。通过为GEM接口元素建立统一格式，该规范使设备供应商能够提供全面、准确且一致的文档。由于工厂可编写软件读取SEDD文件，便能创建智能主机应用程序，实现自动配置并适配特定GEM接口。最终将加速自动化系统的部署进程。
SEMI E172 关键概念与特性
- 结构化数据集：提供通用XML架构，以统一格式组织集合事件、数据变量、报警、设备常量及配方变量参数等元素。
- 人机可读性：确保文档既可供软件系统访问，又可供人类利益相关者理解，从而促进无缝集成与理解。
- SEDD（SECS设备数据字典）：能够以可操作的方式精确记录SECS-II接口数据，为集成和应用软件开发人员提供支持。
- XML兼容性: 支持使用广泛兼容的XML工具创建、验证、读取和转换数据文件，实现便捷操作。
SEMI E172标准对行业的重要性
SEMI E172标准为整个半导体制造行业创造了巨大价值，涵盖设备供应商、软件开发商及芯片制造商等各个环节。
- 针对设备供应商：简化了对SECS-II和GEM接口要求的合规性，并大幅缩短了准备接口文档所需的时间。
- 对于芯片制造商：提供清晰、标准化的新设备工厂集成方案，缩短集成与验收周期，提升生产运行时间。
- 面向软件开发人员：通过提供详细的数据框架，加速工厂软件接口的创建。
- 针对制造业：通过促进系统与设备之间强大、自动化的通信，推动运营效率提升，这对智能制造计划至关重要。
PDF解决方案产品支持SEMI E172标准 PDF解决方案产品支持SEMI E172
PDF Solutions提供了一套工具，用于在半导体制造过程中支持并实施SEMI E172标准。主要解决方案包括：
- Cimetrix CIMConnect: 为设备供应商提供 SECS/GEM 接口，实现与工厂主机的无缝通信。
- Cimetrix CIM300: 支持 300mm 晶圆厂的 GEM300 标准合规性，结合了 GEM、E87、E90 及其他标准。
这些解决方案确保制造商在自动化流程的任何阶段都能实现无缝集成与合规性。