SEMI E87 표준 개요 SEMI E87 표준 개요
EMI E87, '캐리어 관리(CMS) 사양'은 제조 장비로의 캐리어 이송 및 반환 관리를 위해 필수적인 동작, 데이터 구조 및 서비스를 정의합니다. GEM 300 인터페이스의 핵심 구성 요소인 CMS는 공장 호스트 시스템이 캐리어 ID와 내용을 검증하여 장비가 올바른 재료를 처리하도록 보장합니다. 이 표준은 또한 캐리어를 수동으로 또는 자동화 시스템을 통해 로드하는 경우를 막론하고 로드 포트를 관리 및 모니터링하기 위한 강력한 기능을 포함합니다. 또한 내부적으로 캐리어를 저장하는 장비를 위한 고급 기능도 지원합니다.
SEMI E87 표준의 목적 SEMI E87 표준의 목적
SEMI E87의 주요 목표는 반도체 제조 환경 내에서 자동 및 수동 캐리어 이송을 조정, 실행 및 완료하기 위한 표준화된 통신 프레임워크를 수립하는 것입니다. 호스트-장비 상호작용을 간소화함으로써, 이 표준은 다음과 같은 중요한 운영 측면을 다룹니다:호스트 장비 간 상호작용을 간소화함으로써, 본 표준은 다음과 같은 핵심 운영 측면을 다룹니다:
- 운송 수단 적재 및 하역 순서
- 운반체-적재물 포트 연결운송체-화물 포트 연결
- 슬롯 맵 검증 및 확인슬롯 맵 검증 및 확인
SEMI E87은 공장 자동화 시스템과 장비 간의 통합을 강화하여 효율적이고 신뢰할 수 있는 자재 처리를 촉진합니다. 최근 표준 업데이트를 통해 적용 범위가 기존 반도체 프런트엔드 공정에서 확장되어 신흥 제조 분야에서도 더욱 다용도로 활용될 수 있게 되었습니다.
SEMI E87의 주요 개념 및 특징
SEMI E87 표준은 반도체 제조 공정에서 캐리어 및 로드 포트 관리를 위한 포괄적이고 통일된 프레임워크를 제시합니다.캐리어란 장비를 오가며 재료를 운반하는 모든 용기를 의미합니다. E87은 장비의 GEM 300 인터페이스의 일부로 구현되며, 캐리어와 로드 포트 간의 상호작용을 관리하는 여러 상태 모델과 서비스를 정의합니다.
핵심 상태 모델핵심 상태 모델
SEMI E87은 부하 포트와 캐리어의 동작 및 상호작용을 관리하기 위해 다중 상태 모델을 정의합니다:
- 적재 포트 전환: 로드 포트의 운영 상태를 제어하며, 서비스 중 상태와 서비스 중단 상태 간의 전환을 포함합니다. 서비스 중일 때는 캐리어 로딩, 언로딩 및 전송 차단 관리를 수행합니다.:
- 통신사: 호스트 시스템이 운송업체 ID 및 내용을 검증할 수 있도록 지원합니다. 운송업체 접근 이벤트, 운송업체 관련 활동 완료를 보고하고, 운송업체 철수 일정을 위한 예측 알림을 제공합니다.
- 접근 모드: 운반체 전달/제거가 수동인지, 자동화 물류 시스템(AMHS)을 통한 자동화인지 설정합니다.
- 적재항 예약: 특정 적재 항구에 운송사가 예약되었을 때 이를 알립니다.:
- 적재항/운송사 연계: 운송사와 적재 항구 간의 제휴 관계를 보고합니다.:
추가 표준화 기능
E87은 상태 모델을 넘어 캐리어 관리를 강화하는 여러 추가 기능을 포함합니다:
- 알림: 캐리어 클램핑/언클램핑, 도어 개폐, 캐리어 ID 리더 가용성 변경 등을 포함한 상세한 이벤트 보고를 제공합니다.
- 서비스: 상태 모델과 관련된 서비스 외에도 캐리어 태그를 읽고 쓰는 서비스를 정의합니다.:
- 왕복 시나리오: 정상 및 비정상 운영 시나리오를 모두 설명하며, 상태 모델과 서비스 간의 상호작용 방식을 보여줍니다.
- 내부 캐리어 버퍼: 내부 캐리어 저장 장치를 갖춘 장비를 지원하며, 캐리어를 외부 로드 포트로 이동하도록 요청하는 서비스를 정의하고 저장 상태를 추적합니다.
- 경보: 예상치 못한 캐리어 및 로드 포트 관련 오류, 장애 또는 비정상 상태를 호스트 시스템에 알림으로써, 신속한 진단 및 시정 조치를 가능하게 합니다.
- SECS/GEM과의 통합: SEMI E87.1은 SEMI E87 기능을 SECS/GEM 인터페이스에 매핑하여 공장 호스트와의 통신을 가능하게 하는 하위 표준입니다. SECS/GEM과의 통합
이러한 기능들은 종합적으로 재료 수송을 위한 강력하고 표준화된 실행 프레임워크를 구축하여 첨단 제조 환경에서 효율적이고 신뢰할 수 있는 운영을 가능하게 합니다.
SEMI E87 표준의 산업적 중요성
SEMI E87 표준은 현대 반도체 제조의 중요한 부분으로, 다양한 생산 환경에서 효율적이고 자동화된 재료 취급을 가능하게 합니다. 이 표준의 채택은 다음과 같은 주요 이점을 제공합니다:
- 운영 효율성 향상: 캐리어 전송 프로세스를 표준화함으로써 E87은 오류를 줄이고 지연을 최소화하며 전반적인 처리량을 향상시킵니다.
- 장비 및 시설 간 상호운용성: E87은 장비 공급업체나 지리적 위치에 관계없이 로드 포트와 캐리어 간의 일관된 동작과 호환성을 보장하여 통합된 글로벌 제조 생태계를 조성합니다.
- 비용 절감: 이 표준은 수동 개입을 최소화하고, 장비 통합 복잡성을 줄이며, 가동 중단 시간을 단축하여 반도체 제조업체 및 생산 시설에 상당한 비용 절감 효과를 제공합니다.:
- 원활한 자동화 통합: E87은 완전 자동화된 "무인" 제조 환경 구현에 필수적인 자동화 물류 시스템(AMHS)과 같은 자동화 시스템 통합을 위한 강력한 프레임워크를 제공합니다.: E87은 완전 자동화된 '무인' 제조 환경 구현에 필수적인 자동화 시스템(예: 자동화 물류 시스템(AMHS))을 통합하기 위한 강력한 프레임워크를 제공합니다.
- 광범위한 산업 채택: E87은 300mm 프런트엔드 제조 시설에서 보편적으로 요구되며, 백엔드 반도체 공정에서도 점차 도입되고 있습니다.
SEMI E87을 지원하는 PDF 솔루션 제품 PDF 솔루션 SEMI E87 지원 제품
PDF Solutions는 장비-호스트 통신을 위한 개발 및 통합 도구를 포함하여 SEMI E5 표준 구현을 지원하는 포괄적인 솔루션을 제공합니다.
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장비 측면
- Cimetrix CIM300: 300mm 팹을 위한 GEM300 표준 준수를 지원하며, GEM, E87, E90 및 기타 표준을 통합합니다.
- Cimetrix CIMControlFramework: 장비 자동화 시스템을 위한 완벽한 소프트웨어 프레임워크로, SEMI 표준과 원활하게 통합되도록 설계되었습니다.
- Cimetrix EquipmentConnect: SEMI GEM, GEM300 및 EDA/인터페이스 A 표준의 원활한 구현을 위해 설계된 강력한 소프트웨어 툴킷
공장 측
- 사피언스 데이터 플랫폼: SEMI 표준을 지원하는 호스트 측 솔루션으로, 효율적인 공장 호스트 운영을 가능하게 합니다.
- Cimetrix HostConnect: HSMS를 통한 SECS-II 메시징을 사용하여 호스트 애플리케이션을 생성하기 위한 향상된 소프트웨어 라이브러리.
- Cimetrix SECSConnect: SECS-I 또는 HSMS를 통해 SECS-II 메시징을 사용하는 애플리케이션 개발을 위한 라이브러리.
테스트테스트
- Cimetrix 장비 테스트: SEMI 표준에 따른 장비 인터페이스 적합성을 검증하고 공장 호스트 시스템과의 통합을 간소화하도록 설계된 포괄적인 SECS/GEM 테스트 솔루션 .