SEMI E87标准简介
EMI E87标准《载体管理规范（CMS）》定义了管理载体在制造设备间转移所需的核心行为、数据结构及服务。作为GEM 300接口的关键组件，CMS使工厂主机系统能够验证载体ID及内容，确保设备处理正确物料。 该标准还包含强大的装载端口管理与监控功能，无论载体是通过人工还是自动化系统装载。此外，它还支持具备内部载体存储功能的设备的高级应用能力。
SEMI E87标准的目的
SEMI E87标准的核心目标是建立标准化通信框架，用于协调、执行和完成半导体制造环境中的自动化与手动载具转移。通过优化主机与设备间的交互，该标准涵盖了关键操作环节，例如：
- 载具装卸流程
- 承运人至装载港关联
- 插槽地图验证与确认
SEMI E87标准增强了工厂自动化系统与设备之间的集成度，促进了高效可靠的物料搬运。该标准的最新更新使其适用范围超越了传统半导体前端工艺，在新兴制造领域展现出更强的适应性。
SEMI E87 关键概念与特性
SEMI E87标准为半导体制造中的载具与负载端口管理引入了全面统一的框架。术语?载体指用于在设备间运输物料的任何容器。E87作为设备GEM 300接口的组成部分得以实施，并定义了若干状态模型与服务，用于管控载具与装载端口之间的交互。
核心国家模型核心状态模型
SEMI E87定义了多种状态模型来管理负载端口和载体的行为与交互：
- 装载端口转移：控制负载端口的运行状态，包括在服务状态与非服务状态之间的转换。处于服务状态时，负责管理承载器的加载、卸载及传输阻塞操作。
- 承运商：协助主机系统验证承载方身份及内容。该组件报告承载方接入事件、完成承载相关活动，并提供预测性通知以安排承载方撤离。
- 访问模式：配置承运人交付/移除操作是手动执行还是通过自动化物料搬运系统（AMHS）自动完成。
- 装货港预留：当承运人被预留用于特定装货港时进行通信。
- 装货港/承运人关联: 报告承运人与装货港之间的关联关系。：报告承运人与装货港之间的关联关系。
附加标准化功能
除国家模型外，E87还包含多项增强运营商管理的功能：
- 通知：提供详细事件报告，包括载具夹紧/松开、门开/关状态，以及载具ID读取器可用性变化。
- 服务: 定义用于读取和写入载体标签的服务，以及与状态模型相关的服务。
- 往返场景：描述正常与异常操作场景，阐释状态模型与服务间的交互机制。
- 内部载波缓冲区：通过定义服务来请求载波移动至外部负载端口并追踪存储，支持具有内部载波存储的设备。
- 警报：向主机系统报告与载波和负载端口相关的意外错误、故障或异常状况，从而实现及时诊断和纠正措施。
- 与SECS/GEM的集成：SEMI E87.1标准作为子标准，将SEMI E87功能映射至SECS/GEM接口，用于与工厂主机进行通信。
这些特性共同构筑了物料运输的强大且标准化的执行框架，使先进制造环境中的操作得以高效可靠地运行。
SEMI E87标准对行业的重要性
SEMI E87标准是现代半导体制造的重要组成部分，可在多样化的生产环境中实现高效流畅的自动化物料处理。其应用带来多项关键优势：
- 提升运营效率：通过标准化载体转移流程，E87减少了错误、最大限度地缩短了延迟，并提高了整体吞吐量。
- 跨设备与设施的互操作性：E87确保负载端口与载具之间行为一致且兼容，无论设备供应商或地理位置如何，从而促进统一的全球制造生态系统。
- 成本降低：该标准最大限度减少人工干预，降低设备集成复杂性，并缩短停机时间——从而为半导体制造商和生产设施带来显著的成本节约。
- 无缝自动化集成: E87为自动化系统的集成提供了强大的框架，例如自动化物料搬运系统（AMHS），这些系统对于实现全自动化的"无人值守"制造环境至关重要。
- 广泛的行业应用：E87已在300毫米前端制造工厂实现全面应用，并在后端半导体生产环节中得到日益广泛的采用。
支持SEMI E87标准的PDF解决方案产品
PDF Solutions提供全面解决方案，支持SEMI E5标准的实施，包括设备与主机通信的开发和集成工具。
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设备端
- Cimetrix CIM300: 支持 300mm 晶圆厂的 GEM300 标准合规性，结合了 GEM、E87、E90 及其他标准。
- Cimetrix CIMControlFramework: 一个完整的设备自动化系统软件框架，旨在与 SEMI 标准无缝集成。
- Cimetrix EquipmentConnect: 一款功能强大的软件工具包，专为无缝实施 SEMI GEM、GEM300 和 EDA/Interface A 标准而设计
工厂端
- Sapience Data Platform: 一款支持 SEMI 标准的主机端解决方案，可实现高效的工厂主机操作。
- Cimetrix HostConnect: 一个增强型软件库，用于使用通过 HSMS 的 SECS-II 消息传输来创建主机应用程序。
- Cimetrix SECSConnect: 一个用于使用通过 SECS-I 或 HSMS 的 SECS-II 消息传输来创建应用程序的库。
测试
- Cimetrix EquipmentTest: 一个全面的 SECS/GEM 测试解决方案，旨在验证设备接口是否符合 SEMI 标准，并简化与工厂主机系统的集成。