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Cimetrix CIMControlFramework™（CCF）は、監視制御、マテリアルハンドリング、オペレータインターフェース、プラットフォームおよびプロセス制御、自動化要件向けに提供されるコンポーネントを活用し、高品質な機器制御ソリューションの設計・実装を可能にするソフトウェア開発キット（SDK）です。CCFは、GEM/GEM300/EDAインターフェース機能を提供する信頼性の高いCimetrix接続製品を基盤としています。
CCFはGEM300メッセージを処理するための組み込みインターフェースを提供しますが、ウェハーやキャリアではなくチップやトレイの移動を扱うバックエンドおよび電子機器制御アプリケーションの構築にも同様に効果的に使用できます。
この機能を示すため、CimetrixはCCFに付属する完全動作実装の一つとして連続フローバックエンドサンプルを追加しました。CCFに既に精通している方は、フロントエンドの大気圧および真空クラスターツールサンプルをご覧になったことがあるでしょう。
連続流サンプルは、以下に述べるように、これらの他のサンプルとは異なります。
JEDEC入力トレイおよび出力トレイ
大気および真空サンプルの場合、材料はSEMI E87キャリアにウェハーとして納入される。バックエンドおよびエレクトロニクス市場向けの場合、材料は通常ウェハー形態ではなく、キャリアでの納入も行われない。連続フローサンプルの場合、材料は入力トレイ上で納入され、出力トレイ上でシステムから取り出される。 サンプルに使用される全てのトレイは、チップやその他の部品の輸送、取り扱い、保管用に標準定義されたJEDECトレイに類似しています。トレイには材料を縦横に収納できるスロットが設けられています。JEDECトレイの外観は以下のようになります：
連続フローサンプルでは、構成パラメータを使用してトレイ内の行数と列数を指定できます。このサンプルには2つの入力トレイと2つの出力トレイがあります。
連続流
連続フローサンプルの名が示す通り、材料は材料がなくなるか、ユーザーが停止を指示するまで継続的に処理されます。本サンプルは、材料の処理方法を決定するためにSEMI E40プロセスジョブやSEMI E94制御ジョブを使用しません。代わりに、ユーザーは処理中に使用するレシピを選択し、スタートボタンを押します。材料は、ストップボタンが押されるまで処理が継続されます。
デフォルトでは、連続フローサンプルは最初の入力トレイの全素材を処理した後、2番目の入力トレイの全素材を処理します。入力トレイが空になると、空のトレイは取り除かれ、満杯のトレイと交換されます。同様に、出力トレイが満杯になると、自動的に取り除かれ、空のトレイと交換されます。これにより、処理は停止されるまで継続的に実行されます。
スケジューラ
連続フローサンプルスケジューラは、大気サンプルおよび真空サンプルのスケジューラとは異なり、プロセスジョブやシーケンスレシピに依存せずに材料をシステム内で移動させる方法を知っています。単に次の入力材料を選択し、最初に利用可能なプロセススロットに配置します。その後、次に完了した材料を選択し、最初に利用可能な出力スロットに配置します。
可視化
連続フローサンプル用に新たな可視化表現が作成されました。従来の円形素材、SEMI E87キャリア、ロードポート、ウェーハハンドリングロボットの代わりに、新たな可視化ではJEDECトレイで搬送されるチップのような矩形素材を描画します。ロボットのレンダリングを試みる代わりに、システム内で素材を移動させる円形エンドエフェクタを可視化します。以下のスクリーンショットは、処理中のサンプル可視化の外観を示しています。
今後のCCFバージョンでは、この可視化の構成要素が可視化ライブラリに組み込まれ、ユーザーはこれまでCCFで可能だったよりも容易に可視化をカスタマイズできるようになります。
リモートコマンド
連続フローサンプルには、ホストまたはホストエミュレータが連続フローサンプルを実行できるようにする、完全に実装された3つのリモートコマンドが付属しています。これらのコマンドは以下の通りです：
- PP_SELECT – 材料の加工に使用するレシピを指定します。
- START – 選択したレシピを使用して材料処理を開始します。
- 停止 – 新しい処理対象物を投入しないでください。すべての処理済み材料が出力トレイに送られた後に停止してください。
以下は、Cimetrix EquipmentTestから送信されるレシピ選択用のS2F49リモートコマンド本体を示します。
結論
CCFの新たな連続フローサンプルが、半導体バックエンドや電子機器制御ソリューションを開発する皆様にとって、アプリケーション構築の優れた出発点となることを願っております！