本博客最初发布于cimetrix.com。
Cimetrix CIMControlFramework™（CCF）是一款软件开发工具包（SDK），可帮助用户利用其提供的组件设计并实现高质量的设备控制解决方案，涵盖监督控制、物料处理、操作员界面、平台与过程控制以及自动化需求等领域。CCF基于可靠的Cimetrix连接产品构建，这些产品提供GEM/GEM300/EDA接口功能。
虽然CCF确实提供了处理GEM300消息的内置接口，但CCF同样能高效用于构建后端和电子设备控制应用程序，这些应用程序处理芯片和托盘的移动，而非晶圆和载具。
为展示这一能力，Cimetrix已在CCF提供的完整工作实现中新增了连续流后端示例。若您已熟悉CCF，想必见过其前端的大气与真空集群工具示例。
连续流样品与其他样品不同，具体如下所述。
JEDEC输入和输出托盘
对于大气和真空样品，材料以晶圆形式装载在SEMI E87载体中交付。针对后端和电子市场，材料通常不以晶圆形式存在，且不使用载体运输。连续流样品的材料通过输入托盘送入系统，并通过输出托盘移出系统。 所有样品托盘均采用类似JEDEC托盘的结构，该标准托盘专用于芯片及其他元件的运输、搬运和存储。托盘设有纵横排列的插槽用于固定物料。JEDEC托盘结构示意如下：
连续流示例允许用户通过配置参数指定托盘中的行数和列数。该示例包含两个输入托盘和两个输出托盘。
连续流动
正如连续流样品的名称所示，材料将持续加工直至耗尽或用户手动停止。该样品不采用SEMI E40工艺任务或SEMI E94控制任务来确定材料的加工方式。用户只需在加工过程中选择配方并按下启动按钮，材料便会持续加工直至按下停止按钮。
默认情况下，连续流样本将处理来自第一个输入托盘的所有材料，然后处理来自第二个输入托盘的所有材料。当输入托盘变空时，该托盘将被移除并替换为满托盘。同样地，当输出托盘装满时，它会自动移除并替换为空托盘。这使得处理过程能够持续运行直至停止。
调度程序
连续流样品调度器与大气和真空样品中的调度器不同，它无需依赖工艺作业或序列配方来确定物料在系统中的流动路径。该调度器仅需选择下一批待处理物料，将其置入首个可用工艺槽位；随后选取下一批已完成物料，置入首个可用输出槽位。
可视化
针对连续流样本创建了新的可视化效果。新效果不再使用圆形材料、SEMI E87载具、装载端口和晶圆处理机器人，而是绘制类似矩形芯片的矩形材料，这些材料可能以JEDEC托盘形式送达。可视化效果不再尝试呈现机器人，而是渲染一个圆形末端执行器，用于在系统中移动材料。下图展示了样本在处理过程中的可视化效果。
在即将发布的CCF版本中，该可视化组件将被纳入可视化库，用户可借此更便捷地定制可视化效果——这在以往的CCF版本中是无法实现的。
远程命令
连续流示例附带三个完全实现的远程命令，允许主机或主机仿真器运行该示例。这些命令包括：
- PP_SELECT – 指定用于处理材料的配方。
- 开始 – 根据所选配方开始材料加工。
- 停止 – 请勿继续送入待处理的新材料，待所有处理完毕的材料送入输出托盘后方可停止。
以下展示了从Cimetrix设备测试程序发送的S2F49远程命令主体，用于选择配方。
结论
我们希望CCF中的新型连续流样本能为开发半导体后端或电子设备控制解决方案的用户提供绝佳的应用开发起点！