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基調講演と発表論文 タグ: 特性評価
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掲載論文
IEEE JEDS 2019 – 新興メモリ特性を評価するための短時間フロー試験アレイの設計および測定要件
特性評価
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掲載論文
EDTM 2019 – 7nm以下のプロセスにおける歩留まりと信頼性の課題
特性評価
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製造設計
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EDTM 2019 – 新興メモリ特性を評価するための短流試験アレイの設計と測定要件
特性評価
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浮かび上がる記憶
掲載論文
IEEE Transactions 2015 – FinFET技術特性評価のためのコンタクトチェーン
イールドマネジメント
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特性評価
掲載論文
IEEE Transactions 2008 – ナノメートルスケール技術におけるトランジスタ性能とリーク電流のばらつき
製造設計
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特性評価
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イールドマネジメント
掲載論文
ICMTS 2006 – 超高速製品ウェーハ歩留まり監視用スクライブ特性評価試験チップ
特性評価
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イールドマネジメント
掲載論文
ISSM 2006 – ホットスポット解析のためのリソシミュレータの高速かつ正確な較正法
製造設計
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