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基調講演と公開論文 タグ: イールドマネジメント
基調講演と公開論文 タグ: イールドマネジメント
掲載論文
2026年 – ゲートとフィン空間の変動が応力変調とFinFETトランジスタ性能に及ぼす影響
化合物半導体
,
製造分析
,
炭化ケイ素
,
イールドマネジメント
基調講演
2025年 – SEMIにおけるエージェント型AIアプローチ
イールドマネジメント
,
AI/機械学習
,
能動的AI
基調講演
2025年 – CS Mantechにおける複合SEMI向けエンドツーエンド歩留まり管理
化合物半導体
,
製造分析
,
イールドマネジメント
掲載論文
2025年 – 化合物半導体製造におけるエンドツーエンドの歩留まり管理
化合物半導体
,
製造分析
,
炭化ケイ素
,
イールドマネジメント
掲載論文
2025-歩留まり低下要因の非接触検出のための試験構造を用いた製品設計の強化
イールドマネジメント
,
電子ビーム
,
特性評価
,
製造設計
掲載論文
2024年 – クラウド上のビッグデータAI/機械学習分析ソリューションによる製造の安全な立ち上げを加速
製造業
,
イールドマネジメント
掲載論文
EDTM 2022 – 検査・モニタリングのための新規電子ビーム技術
イールドマネジメント
,
電子ビーム
掲載論文
IEEE S3S 2019 – FDSOI技術の特性評価における課題と解決策
イールドマネジメント
掲載論文
IEEE Transactions 2015 – FinFET技術特性評価のためのコンタクトチェーン
特性評価
,
イールドマネジメント
掲載論文
AEC/APCシンポジウムアジア2009 – 堅牢な計測予測モデルのオンライン展開
FDC
,
イールドマネジメント
掲載論文
SPIE 2009 – 簡素化による生存戦略、規範的レイアウト設計が32nmおよびそれ以降の収益性あるスケーリングを保証
製造設計
,
イールドマネジメント
掲載論文
SPIE 2009 – 規則的設計ファブリックを用いたOPC簡略化とマスクコスト削減
製造設計
,
イールドマネジメント
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