SEMI E128規格の概要SEMI E128規格の概要
SEMI E128規格（正式名称：XMLメッセージ構造仕様は、装置データ取得（EDA）通信で使用されるXMLおよびSOAPベースのメッセージ形式の技術的枠組みを定義します。これはEDA/インターフェースA規格（フリーズバージョン1および2）の基盤となる構成要素であり、半導体製造装置と工場ホストシステム間の信頼性の高いデータ交換を実現します。
SEMI E128規格の目的目的
SEMI E128の主な目的は、非同期メッセージと同期メッセージの両方の構造と交換を標準化することです。XMLメッセージヘッダーとフォーマット規則を規定することで、この規格は多様なシステム間で互換性と一貫性を保証します。これにより、独自仕様や互換性のないプロトコルのリスクが排除され、メッセージ転送が効率化され、高度に自動化された製造環境内での効率的な通信が可能となります。
SEMI E128の主要概念と特徴SEMI E128の主要概念と特徴
- XMLおよびSOAP準拠: E128はメッセージフォーマットにXMLバージョン1.0およびSOAPバージョン1.2の使用を義務付け、堅牢なデータエンコーディングと伝送を保証します。開発者がEDA準拠ソフトウェアを構築するために使用するスキーマファイルを含みます。E125、E132、E134などの標準は、メッセージ構造においてE128スキーマに依存しています。
- 同期および非同期メッセージング: リアルタイム（同期）とイベント駆動型（非同期）の両方の通信モデルをサポートし、幅広いデータ交換要件に対応します。
- 相互運用性: 可能な限り確立された業界標準を活用し、半導体製造の特定のニーズを満たすために必要な場合にのみ拡張を導入します。すべてのEDA実装は同一のE128スキーマに基づいて構築されています。
SEMI E128の業界における重要性
SEMI E128は、相互運用性、拡張性、および運用上の透明性を強化することで、データ通信における主要な課題に対処します：
- 機器サプライヤー向け: 開発者はE128スキーマを使用して、あらゆるファブ側のEDAクライアントソフトウェアと互換性のあるEDAインターフェースを構築します。
- チップメーカー向け: ファブソフトウェアチームは、E128スキーマを使用して、あらゆる装置側のEDA実装と確実に連携できるクライアントアプリケーションを開発します。
- ソフトウェアプロバイダー向け: 統一されたメッセージング構造への準拠により、半導体エコシステム全体で堅牢かつ相互運用可能なソフトウェアソリューションの開発が可能となります。
先進的な製造施設で広く採用されているSEMI E128は、通信プロトコルを合理化し、高性能なデータ収集と配信のための拡張性のある信頼性の高い基盤を提供します。
SEMI E128をサポートするPDFソリューション製品
すべてのPDFソリューションズ EDA/インターフェースA製品は、SEMI E128に準拠しています。
機器側
- Cimetrix CIMPortal Plus: 適用されるSEMI規格に完全に準拠した高性能な装置データ収集（EDA）ソリューションの実装を容易にするために設計された包括的なソフトウェア開発キット（SDK）。
- Cimetrix CIMControlFramework: SEMI規格とシームレスに統合されるように設計された、装置自動化システム向けの完全なソフトウェアフレームワーク。
工場側
- サピエンス・データプラットフォーム: SEMI規格をサポートするホスト側ソリューションで、効率的な工場ホスト運用を実現します。
テスト
- Cimetrix ECCE Plus: SEMI EDA規格への機器準拠を検証するために設計された、堅牢な機器データ収集（EDA）リファレンスクライアントアプリケーション。
- Cimetrix EDATester: 半導体製造環境におけるSEMI機器データ取得（EDA/インターフェースA）規格への準拠検証および性能評価のための最先端アプリケーション。