SEMI E128标准简介
SEMI E128标准,正式名称为?XML消息结构规范,该标准定义了设备数据采集(EDA)通信中基于XML和SOAP的消息格式技术框架。作为EDA/接口A标准(冻结版本1和2)的基础组件,它确保了半导体制造设备与工厂主机系统之间可靠的数据交换。
SEMI E128标准的目的
SEMI E128标准的核心目标在于规范异步与同步消息的结构及交换方式。通过定义XML消息头与格式规则,该标准确保了不同系统间的兼容性与一致性。这不仅消除了专有或不兼容协议的风险,还简化了消息传输流程,从而在高度自动化的制造环境中实现高效通信。
SEMI E128 标准的核心概念与特性
- XML与SOAP合规性:E128标准规定必须采用XML 1.0版本和SOAP 1.2版本进行消息格式化,以确保数据编码与传输的可靠性。该标准包含开发人员用于构建符合EDA规范软件的架构文件。E125、E132和E134等标准均依赖E128架构文件定义消息结构。
- 同步与异步消息传递:同时支持实时(同步)和事件驱动(异步)通信模型,满足多样化的数据交换需求。
- 互操作性: 在可能的情况下尽可能利用现有的行业标准,仅在满足半导体制造的特定需求时才引入扩展。所有电子设计自动化(EDA)实现都基于相同的E128架构。
SEMI E128标准对行业的重要性
SEMI E128通过增强互操作性、可扩展性和操作透明度,解决了数据通信中的关键挑战:
- 设备供应商须知:开发人员使用E128架构构建与任何晶圆厂端EDA客户端软件兼容的EDA接口。
- 针对芯片制造商:晶圆厂软件团队采用E128架构开发客户端应用程序,确保其能与任何设备端的EDA实现方案可靠对接。
- 对于软件供应商:遵循统一的消息传递结构,能够在半导体生态系统中开发出强大且互操作的软件解决方案。
SEMI E128标准在先进制造设施中被广泛采用,它简化了通信协议,并为高性能数据采集与分发提供了可扩展、可靠的基础。
支持SEMI E128标准的PDF解决方案产品
所有PDF Solutions EDA/Interface A产品均符合SEMI E128标准。
设备端
- Cimetrix CIMPortal Plus: 一款全面的软件开发工具包(SDK),旨在促进高性能设备数据采集(EDA)解决方案的实施,并完全符合适用的SEMI标准。
- Cimetrix CIMControlFramework: 一个完整的设备自动化系统软件框架,旨在与 SEMI 标准无缝集成。
工厂端
- Sapience Data Platform: 一款支持 SEMI 标准的主机端解决方案,可实现高效的工厂主机操作。
测试
- Cimetrix ECCE Plus: 一款强大的设备数据采集(EDA)参考客户端应用程序,旨在帮助验证设备是否符合SEMI EDA标准。
- Cimetrix EDATester: 验证设备是否符合SEMI设备数据采集(EDA/接口A)标准的首选应用程序,可在半导体制造环境中表征设备性能。