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AMS-Osram E-PC移行PoCプロジェクト

AMS-Osramは、PDF Solutionsと提携し、280台の装置を擁するファブ環境において1日あたり約9,000件のアラームを発生させている既存の運用を中断させることなく、従来のMaestria® FDCシステムから最新のExensio®プロセス制御プラットフォームへのシームレスな移行経路を実証する概念実証(PoC)を成功裏に完了しました。 このPoCでは、以下の3つの主要機能が実証されました。Maestriaの全機能を維持しつつ、FDCトレースデータをE-PCにリアルタイムで集約するデュアルシステム方式の技術的移行アプローチ。 ツールマッチング、動的統計レポート、ファブモデル(90%の効率向上を実現)、SVIDフリーズの自動検出用カスタムスクリプトインジケーター、予防保全の品質評価、およびファブエクサクトコピー&マッチングを含む6つの強力なE-PC機能;そして、プロセスフィンガープリントとウェーハソートビンデータを組み合わせ、数日ではなく数分で根本原因を特定する、完全に統合されたFDCから歩留まり管理へのワークフロー。

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