배경
SEMI 북미 정보 및 제어 위원회(Information & Control Committee)의 봄 정기 회의가 반도체 제조 기술 향상을 위한 솔루션을 주제로 하는 세계적인 기술 컨퍼런스인 ‘첨단 반도체 제조 컨퍼런스(ASMC)’와 함께 개최되었습니다. 이번 행사는 뉴욕주 올버니에 위치한 힐튼 호텔에서 열렸습니다.
평소와 마찬가지로, 첫 이틀은 GEM 300, ABFI(Advanced Backend Factory Integration), GUI, CDS(Fab & Equipment Computer & Device Security), DDA(Diagnostics Data Acquisition), 그리고 디지털 트윈 태스크포스를 포함한 태스크포스 회의에 중점을 두었으며, 이 모든 회의는 PDF Solutions가 공동 주관했습니다. 셋째 날에는 위원회 회의가 열렸으며, 위원들은 주로 태스크포스의 권고안을 바탕으로 최종 결정을 내렸습니다. 이 요약문은 선정된 태스크포스 세션과 위원회 회의에서 나온 주요 논의 내용을 담고 있습니다.
위원회에서 승인된 모든 투표 결과는 전 세계 SEMI 감사 및 검토 위원회의 최종 검토를 거쳐야 합니다. 드문 경우이긴 하지만, SEMI의 절차와 규정을 엄격히 준수하지 않을 경우 투표 결과가 기각될 수 있습니다.
태스크포스가 새로운 표준을 제안하거나 기존 표준을 개정하는 안건을 표결에 부치기 전에, SNARF(표준 신규 활동 보고 양식)는 기술위원회의 승인을 받아야 합니다. SEMI는 전 세계 위원회 활동에 대한 상세 정보가 담긴 포괄적인 웹사이트를 운영하고 있습니다:
디지털 트윈 태스크포스
이 태스크포스는 디지털 트윈 용어를 정의하고 반도체 산업 내 디지털 트윈에 대한 최소 요구 사항을 수립하는 첫 번째 투표안을 제출할 준비를 하고 있다. 향후 이 그룹은 디지털 트윈과 상호작용하기 위한 하나 이상의 인터페이스를 개발할 계획이지만, 해당 작업의 구체적인 내용은 아직 확정되지 않았으며 향후 단계에서 진행될 예정이다.
GEM 300 태스크포스
태스크포스 회의와 위원회 회의 모두에서 위원들은 E40(프로세스 작업 관리)의 잘 알려진 변수 문제를 다루는 안건 7447을 통과시켰습니다.
또 다른 투표안 7427은 E172(SECS 장비 데이터 사전 사양)에 대한 개정안을 제안했습니다:
- 첫 번째 안건은 ‘Well-Known Name’ 필드를 SEMI에서 정의한 이름으로 제한하고, 사용자 정의 용도로 사용할 수 있는 새로운 필드를 도입하는 내용입니다. 이 안건은 사용자 정의 필드가 장비 공급업체와 최종 사용자가 합의한 모든 용도를 지원할 수 있도록 기술적 조정을 반영하기 위해 비준 투표 단계로 상정되었습니다.
- 두 번째 항목은 적절한 캐리어 위치 식별이 가능하도록 장비 특성 분석 매트릭스를 업데이트합니다. 이 항목은 승인되었습니다.
투표안 7345B(E90—기판 추적 사양)는 투표안 자체의 결함으로 인해 부결되었습니다.
배치는 동시에 처리되는 기판들의 집합을 의미합니다. 기판 처리 방식에 따라 배치를 생성하거나 삭제해야 하는 시점에 대한 의견이 분분했습니다. 이번 투표는 다음 두 가지 문제를 해결하기 위해 진행되었습니다:
- 배치 위치 상태 모델에서 상태 정의와 전환 표 사이에 모순이 존재합니다. 표준에서는 UNOCCUPIED 상태를 기질이 전혀 없는 상태로 정의하고 있지만, 전환 표에서는 모든 기질이 배치 위치로 이동한 경우에만 OCCUPIED 상태로의 전환을 허용하고 있습니다.
- 태스크포스는 앞서 세 가지 경쟁 제안서를 검토한 끝에 해결 방안에 합의했다.
투표는 사소한 기술적 오류와 추가 설명 요청으로 인해 부결되었습니다. 그러나 수정된 버전은 이전 버전들에 비해 상당히 개선되었습니다. 태스크포스는 새로운 문제가 발생하지 않는 한 다음 개정안이 통과될 것으로 예상하고 있습니다.
보안 HSMS 통신의 표준화를 제안하는 투표안 7428A는 현재 개발 중인 투표안 중 가장 영향력이 큰 안건으로 남아 있습니다. 이 안건은 3단계 통신 모델을 정의하고 있습니다:
- TCP/IP
- TLS (전송 계층 보안)
- HSMS-SS
투표는 사소한 SEMI 절차상의 문제로 부결되었습니다. 그럼에도 불구하고, 그룹은 전반적인 기술적 방향에 대해 강력한 합의를 도출했습니다. 다만, 회원들은 RFC 8446에서 요구하는 범위를 넘어 TLS 인증 과정에서 특정 오류 처리 방식을 규격에 의무화해야 하는지 여부를 포함하여, 구체적인 구현 세부 사항에 대해 여전히 논의 중입니다.
투표안 7447호는 잘 알려진 명칭에 대한 E40 개정안을 제안한 것으로, 논란 없이 통과되었다.
위원회는 투표용지 작성을 위한 몇 가지 새로운 활동을 승인했습니다:
- E5 및 E30에 대한 제안된 업데이트는 보고서 생성 및 이벤트 연동 기능을 개선할 것입니다. 현재 S1F23/S1F24 메시지는 데이터 변수와 수집 이벤트 간의 연관성을 정의하고 있지만, 호스트 소프트웨어는 어떤 변이든 어떤 이벤트와도 연결할 수 있습니다. 이번 제안은 연관성이 없는 변수가 부적절하게 연결될 경우 장비에서 오류를 표시하도록 요구하는 설정을 도입합니다. 이 변경 사항은 GEM 인터페이스에서 흔히 발생하는 문제를 해결할 것입니다.
- 두 번째 활동에서는 캐리어를 보관하고 기판을 이송하는 장비의 내부 버퍼 구현 방식과 포트 사용법을 명확히 설명합니다.
- 세 번째 활동에서는 E40에 등장하는 또 다른 유명한 인물의 이름을 수정합니다.
진단 데이터 수집(DDA) 태스크포스
DDA 태스크포스는 gRPC 기술을 기반으로 한 EDA/인터페이스 표준의 Freeze 3 버전을 최종 확정하는 작업을 계속하고 있습니다. 최근 검토 주기 동안 두 건의 투표안이 검토되었습니다:
- 투표안 7422(E164) 가 부결되었습니다. Freeze 3는 E164에 의존하고 있으므로, Freeze 3를 완료로 선언하기 위해서는 이 표준이 먼저 통과되어야 합니다. 태스크포스는 해당 안건을 수정하여 재투표에 부칠 예정입니다. 주요 과제는 GEM 300 기능을 구현하는 하위 표준들을 완성하는 것입니다.
- 투표안 7419A는 최종 기술적 업데이트를 위한 비준 투표 단계로 넘어갔습니다. 이 투표안에는 E120, E125, E132, E134 및 E179에 대한 업데이트가 포함되어 있습니다. 비준될 경우, 이 표준들은 EDA Freeze 3의 핵심을 이루게 될 것입니다.
CDS(제조 및 장비 컴퓨터·기기 보안) 태스크포스
CDS 태스크포스에 대한 투표 결과는 결정되지 않았습니다. 특히 최종 사용자들이 지지를 철회한 만큼, 해당 그룹은 SEMI E188(장비 사이버 보안)의 향후 방향을 계속 검토하고 있습니다.
태스크포스는 SEMI E191 (컴퓨팅 장치 사이버 보안 현황 보고)에 대한 대폭적인 개선을 제안하는 투표안 7426을 검토했습니다. 현재의 보고 요건은 다음과 같습니다:
- E191-1024 (현재 버전): ComputingDeviceIdentifier, OSManufacturer, OSName, OSVersion, OSBuild
- 투표안 7311A 추가 항목: OSInstalledUpdates, OSInstalledComponents
- GEM (SEMI E30): MDLN, SOFTREV, EqSerialNum, E30EquipmentSupplier, EqpName
최근 투표안 7311A에 대한 업데이트가 발표됨에 따라, 투표안 7426에 대한 작업이 진행 중입니다. 이 제안에는 다음 내용이 추가됩니다:
- 열려 있거나 설정된 포트 목록 및 관련 프로세스
- 실행 중인 프로세스
- 로컬 사용자 계정
- 방화벽 상태
- 장치 드라이버 버전
- BIOS 정보
이 추가 조항들이 채택된다면, 공장 측이 장비 시스템의 사이버 보안 위험을 평가하는 능력이 크게 향상될 것입니다. 그러나 태스크포스는 몇 가지 세부 사항을 보완해야 하며, 전반적인 지지 여부는 여전히 불확실합니다.
다음 단계
북미 정보·통제 위원회는 다음을 사용할 것입니다:
- 비준 투표 5차 일정 (2026년 6월 2일 ~ 7월 2일)
- 일반 투표 제7차 모집 (제출 마감: 2026년 7월 31일; 투표 기간: 2026년 8월 19일 ~ 9월 18일)
위원회는 2026년 10월 13일부터 15일까지 샌프란시스코 모스콘 센터에서 열리는 SEMICON West 행사 기간 중 개최되는 ‘북미 가을 SEMI 표준 회의’에서 이 투표 결과를 심사할 예정입니다.
저자 약력:
SEMI 북미
지역 표준 위원회 공동 의장
정보·통제 위원회 공동위원장
GEM 300 태스크포스 팀장
DDA 태스크포스 팀장
고급 백엔드 팩토리 통합 태스크포스 팀장
제조업 디지털 트윈 태스크포스 팀장
SEMI 표준에 대한 자세한 내용은 PDF.com의 ‘표준(Standards)’ 섹션을 확인해 주세요.