초록: 장비 센서 데이터를 기반으로 한 계측 예측, 즉 가상 계측은 일반적으로 계측 장비 사용 효율을 개선하는 방법론으로 간주된다. 또한 견고한 물리적 이해를 바탕으로 한 강력한 모델은 장비 상태를 모니터링하고 초기 단계에서 이상 현상을 포착하는 벤치마크로 활용될 수 있다. 이러한 능력은 공정 장비의 치명적 고장을 예방하는 데 도움이 되며, 이러한 고장은 장시간 가동 중단은 물론 막대한 수율 손실로 이어질 수 있다. 본 논문에서는 65nm 양산 라인에서 듀얼 다마스케인 구리 공정을 적용한 실리콘 카바이드(SiC) 캡핑 층 두께에 대한 견고한 예측 모델의 온라인 적용 사례를 제시한다.
키워드: FDC, 수율 모델링, 가상 계측