摘要：基于设备传感器数据的计量预测（即虚拟计量学）通常被视为提升计量仪器使用效率的方法。此外，具备扎实物理理解的稳健模型可作为基准，用于监测设备健康状况并早期捕捉异常。这种能力有助于预防工艺设备的灾难性故障——此类故障可能导致长时间停机甚至造成重大良率损失。 本文展示了在65纳米量产线上，针对双铜嵌入工艺中碳化硅（SiC）封顶层厚度进行在线部署的鲁棒预测模型。
关键词：FDC，产量建模，虚拟计量
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