要旨：装置センサーデータに基づく計測予測、すなわち仮想計測は、一般的に計測機器の使用効率を向上させる手法と見なされている。さらに、確固たる物理的理解に基づく頑健なモデルは、装置の健全性を監視し異常を早期に捕捉するためのベンチマークとして活用可能である。この能力は、プロセス装置の致命的な故障を防止するのに役立つ。故障は長期のダウンタイムや甚大な歩留まり損失を引き起こす可能性がある。 本論文では、65nm量産ラインにおけるデュアルダマスカス銅プロセス中の炭化ケイ素（SiC）キャップ層厚さに対する堅牢な予測モデルのオンライン展開を実証する。
キーワード：FDC、歩留まりモデリング、仮想計測