摘要：本文描述了一种新一代高吞吐量电子束热点检测系统及方法。该系统不再逐个采集热点图像，仅采集每个热点信号节点中心处的单个像素点，据此判定热点是否存在缺陷。此项创新显著缩短了单个热点的检测时间，相较于前代热点检测系统，大幅提升了整体吞吐量。 通过在采集单个像素（即点）时持续移动载物台（即连续扫描），进一步提升了吞吐量。系统常规可实现每小时检测10亿个热点。文中阐述了优化扫描速度与学习效果的热点选择流程。 后端工艺（BEOL）缺陷通过独特路径进行分级，从而统计确定主要缺陷源。本文描述了该系统在解决英特尔最新技术中金属层2缺失金属填充缺陷问题中的应用。通过运用该系统及逐步增加晶圆应力的分段实验，缺陷率实现了六个数量级的快速降低，使该技术得以准备投入大规模量产。
关键词：电子束检测，矢量扫描，电压对比检测，金属填充缺失，金属空洞
填写下方表格即可下载论文：
下载本信息即表示我同意PDF Solutions, Inc.可使用我在此提供的信息联系我，告知其产品与服务相关事宜，即使我此前已取消订阅此类通讯。有关我们的隐私保护措施及对保护您隐私的承诺，请查阅我们的《隐私政策》。