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作者:格雷戈里·海利
当价值500美元的多芯片封装因三道工序前的缺陷而未能通过最终测试时,先进封装技术的经济性便显现出令人痛心的代价。每次工艺偏差都会引发下游成本的连锁反应,其影响波及组装、最终测试乃至系统认证环节。
随着封装利润率不断压缩,行业正押注人工智能(AI)技术以更早发现问题——有时甚至在计量数据中出现异常前就能预警。难点在于封装领域始终处于"小数据"环境。与每批次可产生数TB光刻和蚀刻数据的晶圆厂前端不同,封装工艺通常仅能获得零星测量数据。 工程师可能仅获得零星的温度或平面度读数,而非完整的统计分布数据。这种数据粒度的缺失使得配方调试和故障预测的准确性大幅降低。
“我们面临的问题,尤其在工艺开发方面,是小数据问题,”Tignis公司(现为Cohu旗下企业)首席执行官乔恩·赫洛克表示。 “仅凭四个数据点,可能是大象,可能是穴居人的涂鸦,也可能是方波正弦曲线。通过运用基于历史实验数据的先进算法,我们能更早地实现从人工迭代到计算机预测的转变。”
稀疏数据不仅带来不便,更会为工艺开发增添不确定性。工程师常需抉择:是重做实验、冒险外推数据,还是接受更高不确定性。迁移学习等人工智能技术正是为弥合这一差距而设计——通过复用早期数据集训练的模型,实质上实现了从先前运行中"借用经验"。这使工程师即使面对每个新数据集都十分有限的情况,也能更快地收敛到稳定的工艺配方。
赫洛克表示:“我们发现,通过采用整合历史实验数据的算法,收敛速度能显著提升。迁移学习使工程师能够以更少的步骤从一组工艺数据过渡到另一组,在数据有限的情况下有效提升工作效率。”
矛盾之处在于,虽然封装环节不会产生晶圆厂那种密集的工艺数据集,但其设备如今却能产生海量的设备遥测数据。现代的线焊机或芯片贴合机每班次可传输数千个信号,捕捉振动、贴合精度或热漂移等参数。问题在于,与晶圆厂计量数据不同,这些信号并非总是经过结构化处理,无法直接进行统计分析。
PDF Solutions解决方案架构高级总监马克·雅各布斯表示:“将晶圆厂工艺、封装工艺和测试环节的所有数据进行整合的能力尤为重要。归根结底,你制造的不仅是线条和间距,更是在创造良品率。”
这种区别至关重要,因为人工智能无需海量数据即可发挥作用,但它确实需要相关性。即使数量有限的信号,当在不同工艺步骤间进行组合时,也能揭示漂移模式或预测异常波动——这些正是人工操作员可能忽略的细节。通过将稀疏的工艺测量数据与高频设备遥测数据融合,人工智能系统能够构建更完整的变异传播图景。
预测性维护作为盟友
人工智能在智能包装领域最具即时性和可量化价值的应用之一便是预测性维护。相较于前端工具,装配设备承受着更显著的机械与热变异。 线焊机在Z轴方向产生漂移,晶圆贴片机因喷嘴磨损导致定位精度下降,处理器因执行器疲劳出现故障。随着额外层的叠合,基板可能发生弯曲,改变共面性并影响后续工序。固定维护计划往往与设备实际状态不符,导致资源浪费(过早干预)或更严重的意外停机(部件突发故障)。
“预测性维护将使企业能够运行更稳定的设备,”Tignis工程解决方案总监博伊德·芬莱表示,“无论是监测线束键合机的Z轴和温度漂移,还是处理晶圆级加工以管理随着层数增加而产生的基板翘曲和应力,这些都将提升设备稳定性。”
在高产量装配中,即使短暂的中断也会造成巨大损失。一条典型的先进封装生产线每班次可处理数万个单元。若键合机停机两小时,可能导致数千个芯片无法键合,进而引发模塑、分切和最终测试环节的连锁延误。预测性模型通过根据设备实际状态而非日历安排维护周期,有效降低了此类风险。
针对封装领域的公开数据较为有限,但部分后端自动化试点项目已展现出其潜力。 麦肯锡案例研究显示,在处理设备上实施预测性维护后,停机时间减少了40%。(1) 另有一项同行评审的晶圆贴装研究量化了控制上游晶圆切割相关预测指标的效果:该措施不仅降低了设备故障损失,还提升了贴装线的每员工小时产量(UPEH),这充分证明数据驱动的维护能直接影响生产效率。(2)
除了设备健康状况外,预测模型也正应用于流经设备的各类材料。粘合剂、底部填充材料、涂层和基板带来的变异性,为工艺流程增添了新的复杂维度,而人工智能正着手解决这一难题。随着集成密度不断提升,材料间的相互作用愈发难以预测,自动化与人工智能技术正被用于在工艺细微变化影响良率前及时发现异常。
在线偏差控制
检测仍具重要作用,但其侧重点正在转变。制造商不再将其视为装配末端的补救措施,而是运用人工智能实时应用检测数据来控制偏差。采样检测法在包装领域仍普遍存在,但可能遗漏系统性问题。人工智能辅助监测能及时捕捉并限制偏差,避免其向下游环节扩散。
Microtronic应用总监埃罗尔·阿科默表示:“传统检测工具侧重于基准缺陷率,而我们关注的是偏差控制——及早发现意外问题,将故障范围限制在少数晶圆上,而非让数百片晶圆最终流入生产线末端。” "这样弱势区域的器件根本不会进入测试环节,从而降低'带伤产品'流入市场的风险。对于汽车、航空航天或医疗设备而言,这种防护机制对可靠性至关重要。"
通过将偏差控制嵌入封装流程,晶圆厂可将检测数据视为工艺监控环节而非后期筛选手段。这将推动向预测性制造的重大转型——其价值在于阻止变异扩散,而非仅记录变异现象。
可追溯性与系统级可靠性
即便实施偏差控制,缺陷仍会漏检。当故障仅在整机组装后或系统测试时显现,其成本影响将被放大。制造商日益需要的是贯穿整个封装流程的缺陷追溯框架。若缺乏此框架,故障将始终是统计噪声而非可执行的信号。
人工智能辅助可追溯性旨在建立这种关联。通过关联检测图像、设备遥测数据和有限的工艺数据,模型能够判定缺陷源自晶圆制备、芯片粘贴、封装还是最终组装环节。这种区分至关重要:若能明确缺陷根源,工程师便可针对根本原因进行修复,而非在下游环节追查症状。
PDF Solutions旗下Exensio Solutions部门总监格雷格·普鲁伊特表示:“他们确实需要一套能提供可追溯性的系统。无论是从任何类型的现场故障开始追溯,还是训练模型来发现问题,都需要围绕先进封装的各个组件对故障进行分类。”
检测公司正通过转向长期数据保留来应对这一趋势。部分供应商不再在缺陷分类后立即丢弃图像,而是将每块晶圆和芯片的完整视觉记录归档保存。人工智能成为索引层,使这些记录可供检索,并能与后续故障进行比对分析。
“我们会在整条生产线上对每块晶圆进行多次成像记录,这些数据可以保存多年,”阿科默表示。“特别是汽车和航空航天领域的客户,他们要求具备这种可追溯性,这让他们确信只有最优质的晶圆才能进入后续工序。”
打破数据孤岛
尽管预测性维护和可追溯性能带来即时效益,但人工智能的长期价值在于打破数据孤岛。设计模型、工艺遥测数据和装配结果历来各自独立,各自为政地优化自身功能。这种割裂导致了碎片化的可视性——没有任何一个团队能看到全局。
电子设计自动化平台正不断演进以应对这一挑战。仿真环境正扩展至涵盖封装材料与工艺变异性,使工程师即便在数据不完整的情况下也能进行快速定向分析。通过这种方式,团队能在设计周期早期识别潜在瓶颈或偏差,从而减少量产阶段所需的试错循环次数。
新思科技产品管理高级总监阿姆伦杜·谢卡尔·乔比表示:“当前阶段需要的是极快的分析速度,以及在信息有限条件下进行分析的能力。虽然准确性很重要,但最关键的是方向性准确性——它能告诉你‘如果我做出这个改变,情况会变好还是变坏?’”
人工智能提供了一种跨领域关联的机制,而不仅限于设计内部。通过发现设计参数、工艺漂移与良率波动之间的统计关联,它能够识别那些原本难以察觉的根本原因。这不仅关乎数据量,更关乎集成能力——而多芯片封装技术则进一步凸显了这种集成需求的重要性。
“多芯片设计打破了信息孤岛,”周贝表示,“所有环节都相互关联,因此不能简单地说:这个部分用这个工具,那个部分用那个工具,然后回头再进行签核。你需要一个整体的、统一的平台,将整个设计流程整合到一个地方——从探索到签核,都基于同一个数据库。”
应力下的可靠性
传统检测手段无法捕捉长期可靠性风险。电迁移、翘曲和分层往往在标准认证周期之外缓慢发展。人工智能正通过关联工艺数据的细微变化与已知失效模式,识别这些问题的早期预警信号。
普雷维特表示:“我们的基准是将标准统计异常值方法与人工智能进行对比。经过训练的人工智能模型具有更强的选择性,因此在减少过度杀伤的情况下,能发现更多可疑单元。”
人工智能或许无法消除变异性,但它能通过识别故障前兆来缩小不确定性范围。在许多情况下,这决定了故障是局限性偏差还是系统性可靠性问题。
阻碍应用的因素
包装行业应用人工智能的技术基础十分扎实,但实际应用仍面临诸多障碍。首要障碍是数据共享问题。人工智能模型需要多样化的数据集来增强能力,但企业仍对暴露可能泄露知识产权的工艺信息持谨慎态度。这导致模型只能基于狭窄的数据片段进行训练,而非依托强大的跨行业数据集。
普鲁伊特表示:“最佳方法需要不同公司之间加强数据共享,但这在实践中仍存在障碍。大家都知道合作会有帮助,但知识产权问题确实存在。”
第二个障碍是标准化问题。SEMI EDA标准的设计初衷是围绕晶圆厂设备(如刻蚀机和光刻机)制定的,而非针对键合机、封装机或面板级系统。封装工艺需要更广泛、更灵活的数据框架,但支撑这些需求的标准仍在完善中。
芬莱表示:“组装、封装和测试环节如今正采用先进300毫米晶圆厂二十余年来沿用的技术。尽管当前来自高速机电一体化设备设计的高速数据量更大,但诸如EDA(接口A)等较早的SEMI标准已无法涵盖所有新型设备类型。若你热衷于处理设备数据,这无疑是令人振奋的时代!”
最后一道障碍是信任问题。包装工程师们对那些无法提供清晰解释、仅给出黑箱答案的模型始终持怀疑态度。即便预测结果准确,若无法解释为何将某个模具标记为异常值,仍会阻碍其应用。工程师们不仅追求准确性,更需要可解释性——尤其在汽车或航空航天等关键任务市场中。
技能与实施路线图
对于在包装领域试行人工智能的企业,实施路线图通常从预测性维护和偏差监测开始。这些措施能带来可衡量的投资回报,且集成难度较低。跨领域数据融合则在后续阶段推进——当团队对模型建立信心后再实施。
这种转型同时也带来了技能挑战。包装工程师虽不必成为人工智能专家,但需要具备足够的专业知识来解读结果并验证预测。反之,数据科学家必须充分理解包装工艺,才能训练出能反映物理现实的模型。组建跨学科团队将至关重要。
一些公司正通过将机械和包装工程师直接纳入数据科学流程来弥补这一缺口。
普鲁伊特指出:“只有当人工智能模型能够反映应力、翘曲和材料相互作用等物理现实时,它们才具有价值。通过引入理解这些失效机制的工程师,才能确保输出结果对制造具有实际指导意义,而不仅仅是具有统计学意义。”
高校与产业联盟也开始调整步伐,将人工智能和机器学习融入半导体封装课程体系。未来工程师虽无需亲自编写算法,但必须具备验证模型输出结果、将其与工艺物理特性相协调的能力,并能将这些技术应用于生产线上的良率与可靠性挑战。
“目标并非取代工程师,而是提升他们的生产力,”Tignis公司的赫洛克表示,“人工智能能帮助他们更清晰地洞察解决方案空间,但验证工作仍需依靠工程专业知识。”
结论
人工智能在封装领域的应用已非可选项。随着集成密度提升与利润空间缩减,行业无法再依赖静态工艺窗口或人工配方调试来维持良率。预测性维护、偏差监测、可追溯性及跨领域数据整合正从实验性探索转变为行业必需。
时间线虽有差异,但发展方向已然明朗。智能包装生产线正从被动响应转向主动预测,从孤立数据集迈向集成模型,从人工调整进化为算法辅助工作流。能够适应这一变革的工程师,将具备驾驭下一代复杂系统的核心竞争力。
人工智能的终极承诺并非消除变异性,而是使其可控。通过更早预警异常波动、更智能地筛选劣质芯片、以及加强跨领域关联性,人工智能为将良率与可靠性与先进封装的经济挑战相协调提供了途径。