“基于规则集合的良率建模”,先进半导体制造会议,2007年
摘要:本文将一种名为规则集合的新型统计建模算法应用于产量损失特征化问题。产量损失建模被视为回归或分类问题,通过数据推导出的简单规则线性组合构建模型。实践表明,这类规则集合生成的预测模型可与最优方法媲美。除高精度外,这些规则还具有易于理解的优势。 同样地,可评估每条规则及其对应变量的相关程度。该算法还提供自动识别变量间交互作用的方法,并能量化交互强度与程度。为展示该方法的解释优势,本文通过半导体制造数据的分析进行说明。
关键词:产量建模,预测性学习,决策树