SEMI E142 – 基板映射规范

SEMI E142标准简介  

SEMI E142基板映射规范标准定义了基板映射的概念。 基板映射的概念，适用于晶圆、框架、条带和托盘等各类基板类型。基板映射提供了一种结构化方法，用于存储与基板相关的特定位置数据。例如，当基板为晶圆时，该映射可包含每个独立晶粒的详细信息。 

SEMI E142标准规定了用于组织基板图数据的XML架构，并概述了通过GEM接口在工厂主机系统与设备之间传输这些XML文件的标准化方法。根据设备类型不同，基板图可能需要被调用、生成，或同时被消费和生产。 

基板地图在实现可追溯性及促进制造环境中设备间无缝数据交换方面发挥着关键作用。 

SEMI E142标准的目的是什么？ 

SEMI E142 主要定义了基板图的结构以及工厂主机系统与设备GEM接口之间传输图数据的方法。该标准未对图数据的使用方式或可存储的数据量施加限制。 

由于基板图基于基板的物理布局组织数据并支持位置特定信息，因此特别适合用于实现可追溯性要求。虽然SEMI E142标准尤其适用于封装和组装工艺（包括全面的半导体器件测试），但其应用场景并不局限于此。任何需要晶圆、框架、条带或托盘等基板地图数据的应用，均可采用E142基板图标准。 

SEMI E142 的关键概念和特点是什么？ 

SEMI E142标准 SEMI E142标准 为半导体制造中的衬底图管理建立了框架体系。该标准涵盖多项关键技术组件与功能： 

核心组件 

• 基板图结构： 定义基板图为表示物理基板的二维数组。该结构支持配置原点和轴向方向，包含布局、箱码、器件ID、转移数据及器件数据图等部分。 
• 服务架构： 定义了用于基板地图数据管理的三项核心服务：MapDownload、MapUpload 和 MapGroupDownload。
  这些服务通过下文所述的子标准实现。 
• 基板类型覆盖范围： 支持多种基板分类，包括晶圆、框架、条带、托盘、卷带、面板和印刷电路板。 
• 工艺集成： 为需要在加工前获取基板图的设备提供支持，并使生成图的设备能够捕获加工结果及针对单个基板位置的分析数据。 

下属标准 

虽然SEMI E142定义了基础概念，但四个附属标准提供了实施细节： 

1. SEMI E142.1 – 定义用于基板图的XML架构。该架构可从SEMI获取： https://dom.semi.org/web/wstandards.nsf/complementaryfiles获取。  
2. SEMI E142.2 – 描述通过GEM接口在设备与主机之间传输基板映射文件的过程。 
   • 设备通过GEM采集事件和数据变量发送地图。 
   • 设备请求使用SEMI E39消息S14F1调用地图。 
3. SEMI E142.3 – 规定了基于Web服务技术的地图传输方式。该方法虽已定义但尚未广泛采用。 
4. SEMI E142.4 – 引入基于Stream 21消息的高级基板图传输方案，支持超大尺寸地图文件。 

SEMI E142标准为何对行业至关重要？ 

SEMI E142标准 SEMI E142标准 为整个半导体行业提供战略价值。 

设备供应商的优势 

• 在需要或生成基板图的设备上，跨多个工厂采用标准化架构。 
• 通过SECS/GEM接口实现无缝基板图传输。通过SECS/GEM接口实现无缝基板图转移。 
• 增强满足工厂可追溯性和合规性要求的能力。 

芯片制造商的优势 

• 在不同供应商的设备上统一应用架构。 
• 基板图支持强大的可追溯性实现。 
• 与先进分析工具集成，实现制造数据与测试数据的关联分析。 
• 改进过程控制并优化设备运行。 

行业范围内的影响 

• 标准化基板映射技术实现了全球工厂与设备供应商之间的无缝协作。通过定义通用基板映射架构，并在工厂主机系统与设备间建立一致的数据传输方法，SEMI E142标准有效促进了不同制造环境的高效集成。 
• 通过统一的数据交换协议降低供应链中断风险。 
• 通过统一的数据结构，加速人工智能驱动的制造解决方案创新。 

哪些PDF Solutions产品支持SEMI E142标准？ 

• Cimetrix CIM142 作为设备制造商实现E142合规性的核心解决方案，通过专业化库文件、详尽技术文档及实用实施范例提供全面支持。该平台支持在制造设备上直接可视化基板映射，并具备高速低延迟数据管道能力，可采集器件级组装数据，从而支持先进的故障检测与分类（FDC）应用。 
• PDF解决方案Exensio 通过符合E142标准，打破制造数据孤岛，使工程师能够识别制造与设计流程间的关键关联。这种集成可提升过程控制能力、增强产品筛选功能并优化设备运行，直接支持E142标准的可追溯性与分析目标。 

以下设备可与Cimetrix CIM142配合使用：

• Cimetrix CIMConnect： 为设备供应商提供SECS/GEM接口，实现与工厂主机的无缝通信。
• Cimetrix CIMControlFramework: 一个完整的设备自动化系统软件框架，旨在与 SEMI 标准无缝集成。
• Cimetrix EquipmentConnect: 一款功能强大的软件工具包，专为无缝实施 SEMI GEM、GEM300 和 EDA/Interface A 标准而设计