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ゲート間隔とフィン間隔の変動がFinFET性能に与える影響:7nm技術から得られた新たな知見
半導体製造の複雑なエコシステムにおいて、精密さは単なる目標ではなく、必須要件である。バリューチェーン全体にわたる工場がますます自動化され、データ駆動型になるにつれ、…
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