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CIM300について詳しく見る
300mm半導体工場においてファクトリーオートメーションを導入するためには、装置サプライヤーがSEMI GEM300規格を満たすことが求められます。これにより、装置サプライヤーは、厳しい納期を守りつつ、進化し続ける規格や各ファブ固有の要件に対応するという課題に直面しています。 Cimetrix CIM300™は、オブジェクト指向のソフトウェア開発キットであり、柔軟なソフトウェアアーキテクチャと、SEMI規格E39、E40、E87、E90、E94、およびE116を実現する包括的なソフトウェアモジュール群を提供します。
付属のCIMConnect製品を活用することで、CIM300はGEM規格のE4、E5、E30、およびE30にも対応しています。本製品は、各SEMI規格を独立したソフトウェアモジュールとして実装し、他のモジュールへの依存関係をオプションとして設定できるようにすることで、最大限の柔軟性を実現しています。お客様は、これらのコンポーネントを個別に購入することも、統合製品としてまとめて購入することも可能です。CIM300には、CIMConnectおよびEquipmentTestが含まれています。
詳細については、掲載資料からお選びいただくか、弊社担当者との面談をご予約ください。
