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为了实现工厂自动化,300毫米半导体工厂要求设备供应商符合SEMI GEM300标准。这给设备供应商带来了挑战,既要遵守不断演变的标准和满足各晶圆厂的特定需求,又要确保在严苛的交付期限内完成任务。 Cimetrix CIM300™ 是一款面向对象的软件开发工具包,它提供灵活的软件架构和全套软件模块,支持 SEMI E39、E40、E87、E90、E94 和 E116 标准。

借助随附的 CIMConnect 产品,CIM300 还支持 GEM 标准 E4、E5、E30 和 E30。该产品通过将每个 SEMI 标准实现为独立的软件模块(可选地与其他模块建立依赖关系),从而实现了最大的灵活性。客户可以单独购买这些组件,也可以将其作为集成产品一起购买。CIM300 包含 CIMConnect 和 EquipmentTest

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