Pragmatic：半導体へのアプローチを一新 – ダウンロード

英国を拠点とし、フレキシブル集積回路のパイオニアであり、欧州最大規模の半導体ベンチャー資金調達を実現したPragmatic Semiconductorは、Exensioを活用したより高度なFDC分析を通じて、ファブにおける歩留まり管理とプロセス制御の手法を変革しています。 PDF Solutions社のExensio® Manufacturing Analytics（E-MA）およびProcess Control（E-PC）モジュールをファブ全体に導入したことで、Pragmaticのエンジニアリングチームは、FDCセンサーデータを歩留まり、欠陥、計測データセットと直接関連付けることが可能になり、数時間かかっていた手作業による調査を数分に短縮しました。 実際のケーススタディでは、FDC2YMSアナライザーがウェハレベルの歩留まり低下を引き起こしていたヘリウム漏れを特定したこと、WQRツールマッチング機能により、ベンダーの保証期間が切れる前に新規導入されたツールの仕様外動作を検知したこと、そしてFDC主導のOCAPワークフローが、成膜時のアーク異常やウェットエッチングフィルターの故障をリアルタイムで抑制したことが示されています。これらすべてに、統計的および物理的な検証機能が組み込まれています。 その結果、根本原因の特定が迅速化され、予防的なツールメンテナンスが可能となり、ファブ全体で持続的な歩留まり向上が実現しました。

Pragmaticが半導体分野でどのような独自の取り組みを行っているか、ぜひご覧ください。以下のリンクから全文をダウンロードしてください。