초록 — FDSOI 기술은 평면 집적의 단순성을 유지하면서 조정 가능한 우수한 정전기 트랜지스터의 이점을 제공하는 대체 소자 미세화 경로로 제안되었다. 새로운 소자 유형과 집적 요소는 기술의 전체 수명 주기에 걸쳐 소자 및 공정 특성 분석과 모니터링에 도전 과제를 제기하였다. 본 논문은 FDSOI 기술을 양산 단계로 끌어올리기 위한 고속 사이클 타임 전기적 특성 분석의 성공적 적용을 제시한다.
키워드— FDSOI, 기술 개발, 수율 향상
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발표된 논문
