要旨 — FDSOI技術は、平面集積の簡便性を維持しつつ、調整可能な優れた静電特性を有するトランジスタの利点を提供する代替デバイス微細化経路として提案されている。新たなデバイス構造と集積要素は、技術ライフサイクル全体にわたるデバイス・プロセス特性評価およびモニタリングに課題をもたらした。本論文では、FDSOI技術を量産段階へ移行させるための高速サイクルタイム電気特性評価の成功事例を提示する。
キーワード— FDSOI、技術開発、歩留まり向上
[gtranslate]
掲載論文
