SECS/GEM 시리즈: 레시피 관리

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SECS/GEM 시리즈 블로그 게시물( 수집 이벤트, 데이터 폴링 및 알람 포함)에 이어, 이제 레시피 관리라는 GEM 기능의 특징과 장점을 살펴보겠습니다. 레시피의 정의, 레시피 관리의 의미, 그리고 이 기능이 필요한 이유를 다룰 예정입니다!

레시피란 무엇인가요?

레시피는 장비가 재료를 어떻게 처리해야 하는지 설명하는 일련의 지침입니다. 레시피 내용은 장비 공급업체가 정의합니다.

레시피 관리란 무엇인가요?

레시피 관리는 공장 호스트가 장비와 레시피를 주고받을 수 있도록 합니다. 또한 장비에서 레시피가 변경될 경우 장비는 공장 호스트에 이를 통보해야 합니다.

이 기능이 왜 필요한가요?

거의 모든 반도체 공장은 레시피 무결성을 보장하고 추적성을 지원하기 위해 이 기능을 요구합니다. 호스트는 장비에서 승인된 레시피를 업로드하여 나중에 사용할 수 있도록 저장함으로써 레시피가 변경되지 않도록 합니다. 추적성을 위해 레시피는 일반적으로 공정 데이터와 함께 저장됩니다.

레시피 관리는 어떻게 이루어지나요?

레시피는 호스트와 장비 간에 SECS 메시지를 통해 전달됩니다. 이를 가능하게 하는 여러 세트의 SECS 메시지가 존재합니다. E30 GEM은 형식화된, 형식화되지 않은, 그리고 대형 레시피 메시지 세트를 규정합니다. 대형 레시피 메시지 세트는 여기서 다루지 않을 것입니다.

해당 장비는 또한 운영자가 장비에서 레시피를 변경할 때마다 호스트에 이를 통보해야 합니다. PPChange 수집 이벤트가 생성되며, 여기에는 변경된 레시피의 PPID를 포함하는 PPChangeName과 변경 유형(생성, 삭제, 수정)을 포함하는 PPChangeStatus라는 두 데이터 변수가 포함됩니다.

레시피가 장비로 전송된 후에는 장비가 해당 내용을 검증해야 합니다. 레시피가 유효하지 않은 경우, 검증 실패 정보를 포함하는 PPError 데이터 변수를 가진 PPVerificationFailed 수집 이벤트를 생성하여 호스트에 문제를 알려야 합니다. 검증에 실패한 레시피는 사용해서는 안 됩니다.

식별

각 레시피는 프로세스 프로그램 ID(PPID)라고 하는 ASCII 이름으로 식별됩니다. 공장 호스트와 장비 GEM 인터페이스는 레시피 작업 시 이 이름을 사용합니다.

지속성

레시피는 GEM 인터페이스에 저장됩니다. 호스트가 연결을 끊었다가 다시 연결하거나 장비가 재시작되더라도 GEM 인터페이스는 레시피를 기억합니다. 또한 대부분의 공장 호스트는 공장 측에 레시피를 저장합니다.

어떤 메시지가 사용됩니까?

수집 이벤트와 관련된 주요 메시지 각각에 대한 요약입니다. "S"는 "스트림(stream)"을, "F"는 "함수(function)"을 나타냅니다. 스트림 번호와 함수 번호를 함께 사용하면 메시지를 고유하게 식별할 수 있습니다.

모든 레시피

서식 없는 레시피

정렬된 레시피

레시피 관리에 관한 자주 묻는 질문

레시피는 얼마나 큰 크기까지 전송할 수 있나요?

포맷되지 않은 레시피 메시지의 경우, 레시피는 단일 ASCII 문자열 또는 이진 배열 값입니다. 단일 배열 값은 16.777215MB로 제한됩니다.

형식화된 레시피 메시지는 레시피가 항목 목록으로 분할됩니다. 단일 배열 값은 16.777215MB로 제한됩니다. 총 메시지 크기는 4.294967295GB로 제한됩니다.